第1章 概述 1
1.1 半导体材料的特征 1
1.2 半导体材料的类别 2
1.3 半导体材料的发展简史 6
1.4 半导体材料的现状 10
第2章 基本原理 14
2.1 导电现象 14
2.2 能带结构 16
2.3 化学键 18
2.4 晶体结构 24
3.1 半导体的导电机理 31
第3章 半导体材料的性质与性能 31
3.2 pn 结 35
3.3 金属-半导体接触 37
3.4 异质结 38
3.5 量子阱与超晶格 39
3.6 热电效应 41
3.7 光学性质 43
第4章 对半导体材料的技术要求 45
4.1 化学组成 45
4.2 晶体缺陷 47
4.3 几何尺寸与精度 51
4.4 常用的表征参数与测量方法 51
5.1 提纯 55
第5章 半导体材料的制备 55
5.2 合成 67
5.3 单晶的制备 68
5.4 晶片的加工 80
5.5 外延生长 82
第6章 一些主要的半导体材料 91
6.1 硅 92
6.2 锗 98
6.3 砷化镓 100
6.4 磷化镓 103
6.5 磷化铟 104
6.6 碲化镉 105
第7章 半导体材料的应用 106
7.1 半导体器件的分类 106
7.2 晶体二极管 107
7.3 太阳电池 109
7.4 晶体三极管 110
7.5 发光二极管 112
7.6 激光二极管 115
7.7 金属-氧化物-半导体(MOS)型集成电路 118
7.8 双极型集成电路 119
第8章 展望 120
参考书目 122