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目 录 1
1． 测振的激光外差系统 1
2． 标定振动位移的干涉方法 16
3． 测表面位移的干涉仪 54
4． 测表面位移及振动的激光干涉仪 64
5． 工业用激光干涉仪 76
6． 角位移的测量 83
7． 用光学法测量位移的数字化 93
8． 物体定位用干涉仪 127
9． 物体定位用双激光干涉仪 132
10． ГДσ17M光测距仪 136