一、综述 1
(一)国外真空工业迅速发展的原因 1
(二)国外真空检测仪器仪表的发展概况 2
1.全压强测量仪表(真空计) 2
2.残余气体分析仪器(分压强计) 3
3.检漏仪 4
(三)国外真空镀膜技术的进展 5
1.引言 5
2.国际学术交流 5
3.发展突出的课题 7
(1)高速磁控溅射 7
(2)干式蚀刻技术 9
(3)低压感应加热蒸发源 10
(4)离子镀膜 10
(5)目前国外真空镀膜设备的结构类型 10
(6)淀积过程的监控 11
(7)真空镀膜技术在刀具上的应用 12
(8)太阳能电池 12
(9)建筑玻璃镀膜 14
(10)真空镀铝薄膜材料的发展应用 15
(11)激光加热技术用于真空镀膜 15
(12)束流淀积技术 15
4.结论 15
二、国际学术会议论文及美国、日本真空学会年会论文选介 17
(一)第八届国际真空会议(1980)论文选介 17
(二)第七届国际真空冶金会议(1982)薄膜论文选介 21
(三)美国真空学会第30届年会(1983)论文选介 23
(四)日本真空协会第24届真空联合讲演会(1983)论文选介 26
三、国外真空产品介绍 32
(一)真空计 32
1.英国爱德华公司(Edwards)产品 32
2.日本真空技术公司(ULVAC)产品 35
3.日本ANELVA公司产品 36
4.日本岛津科学仪器公司产品 37
5.意大利Officine Galileo公司产品 37
6.联邦德国Leybold-Heraeus公司产品 42
7.美国MKS公司产品 45
(二)四极质谱计 47
1.联邦德国Leybold-Hereus公司产品 47
2.英国VG气体分析仪器公司(VG Gas Analysis)产品 49
3.日本真空技术公司产品 49
4.法国RIBER公司产品 50
(三)检漏仪 51
1.日本真空技术公司产品 51
2.日本岛津科学仪器公司产品 51
3.联邦德国Leybold-Heraeus公司产品 52
(四)真空镀膜设备 53
1.蒸发镀膜设备 53
(1)美国Airco Temascal公司产品 54
(2)美国Veeco公司产品 54
(3)联邦德国Leybold-Heraeus公司产品 54
(4)日本真空技术公司产品 55
(5)日本昭和真空株式会社(SHUWA)产品 56
(6)日本岛津科学仪器公司产品 60
2.溅射镀膜设备 60
(1)美国Airco-Temascal公司产品 60
(2)美国Varian公司产品 61
(3)日本真空技术公司产品 61
(4)日本德田制作所(TOKUDA)产品 62
(5)日本岛津科学仪器公司产品 62
(6)联邦德国Leybold-Heraeus公司产品 62
(7)列支敦士登Balzers公司产品 64
(8)日本昭和真空公司产品 64
3.离子镀膜设备 66
(1)日本昭和真空公司产品 66
(2)日本真空技术公司产品 68
4.淀积过程监控及膜厚测量仪器 68
(1)Inficon公司产品(联邦德国Leybold-Heraeus公司的子公司) 68
(2)美国Airco-Temascal公司产品 68
(3)美国Veeco公司产品 68
(4)日本真空技术公司产品 69
(5)英国Edwards公司产品 71
(五)刻蚀设备及监控仪器 72
1.美国Veeco公司产品 72
2.美国Varian公司产品 72
3.日本真空技术公司产品 72
4.日本ANELVA公司产品 73
5.英国Iontech有限公司产品 74
6.法国Alcatel公司产品 74
四、国外真空企业情况介绍 76
(一)美国真空企业一览 76
(二)日本真空企业及其产品一览表 80
(三)日本各真空厂家及其产品情况介绍 84
(四)其它国家真空企业情况简介 88
五、参考文献 91