第一章 智能式传感器 1
1.1 概述 1
目录 1
1.2 智能式传感器的构成 2
1.3 压阻式压力传感器智能化 3
1.3.1 智能式压阻压力传感器硬件结构 3
1.3.2 智能式压阻压力传感器的软件设计 4
1.3.3 非线性与温度误差的修正 4
1.3.4 实验结果与结论 7
1.4.1 集成智能传感器 8
1.4 智能式传感器的发展方向与途径 8
1.4.2 我国研究与开发智能式传感器的途径 10
第二章 光导纤维传感器 11
2.1 概论 11
2.1.1 光纤传感技术的形成及其特点 11
2.1.2 光纤传感器的光源 11
2.1.3 光纤传感器用光探测器 12
2.1.4 光纤传感器的分类 12
2.2.1 光导纤维及其传光原理 14
2.2 光导纤维以及光在其中的传输 14
2.2.2 光在普通光导纤维内的传输 16
2.2.3 光在特殊光导纤维内的传输 20
2.3 光调制技术 21
2.3.1 相位调制与干涉测量 21
2.3.2 光纤中的相位调制 25
2.3.3 频率调制 27
2.4 光纤位移传感器 29
2.4.1 光纤开关与定位装置 30
2.4.2 传光型光纤位移传感器 36
2.4.3 受抑全内反射光纤位移传感器 39
2.4.4 光纤微弯位移传感器 43
2.4.5 光纤干涉型位移传感器 47
2.5 光纤速度、加速度传感器 49
2.5.1 光纤激光渡越速度计 49
2.5.2 利用马赫—泽德干涉仪的光纤加速度计 50
2.5.3 倾斜镜式光纤加速度计 53
2.6.1 相位调制光纤振动传感器 57
2.6 光纤振动传感器 57
2.6.2 利用光弹效应的光纤振动传感器 63
2.7 光纤温度传感器 66
2.7.1 相位调制型光纤温度传感器 66
2.7.2 热辐射光纤温度传感器 71
2.7.3 传光型光纤温度传感器 75
2.8 光纤流量、流速传感器 79
2.8.1 光纤旋涡流量计 79
2.8.2 光纤激光多普勒测速计 83
2.9.1 利用马赫—泽德干涉仪制作的光纤压力传感器 85
2.9 光纤压力传感器 85
2.9.2 偏振型光纤压力传感器 88
2.9.3 差分外差法光纤压力传感器 94
2.9.4 利用纵向应力作用的光纤压力传感器 96
2.10 医用光纤传感器 99
2.10.1 光纤测氧计 99
2.10.2 光纤血流计 103
2.10.3 光纤体温计 105
2.10.4 光纤医用pH计 106
2.10.5 光纤体压计 107
第三章 固态图象传感器 109
3.1 引言 109
3.2 固态图象传感器的敏感器件 111
3.2.1 电荷耦合器件(CCD) 111
3.2.2 电荷注入器件(CID) 119
3.2.3 戽链式器件(BBD) 120
3.2.4 MOS式光电变换器件 120
3.3.2 线型固态图象传感器 121
3.3 固态图象传感器 121
3.3.1 固态图象传感器的分类 121
3.3.3 面型固态图象传感器 126
3.3.4 固态图象传感器的主要特性 137
3.3.5 固态图象传感器的应用 145
3.4 红外线固态图象传感器 155
3.4.1 集成红外固态图象传感器 155
3.4.2 混合式红外固态图象传感器 156
4.1 生物传感器的基本原理和分类 158
第四章 生物传感器 158
4.2 生物活性物质固定化技术 159
4.3 酶传感器 160
4.4 微生物传感器 163
4.5 免疫传感器 167
4.6 生物传感器的应用与发展方向 169
4.6.1 生物传感器的应用 169
4.6.2 生物传感器的发展方向 170
5.1 引言 171
第五章 机器人传感器 171
5.2 触觉传感器 172
5.2.1 触觉 173
5.2.2 压觉 177
5.2.3 力觉 178
5.2.4 滑觉 187
5.3 视觉传感器 189
6.1.1 气体传感器及气体检测方法 192
6.1 概述 192
第六章 气体传感器 192
6.1.2 气体传感器的分类 193
6.2 半导体气体传感器 196
6.2.1 半导体气体传感器及其分类 196
6.2.2 气敏机理 198
6.2.3 主要特性及其改善 201
6.2.4 表面控制型电阻式传感器 205
6.2.5 体控制型电阻式传感器 212
6.2.6 非电阻式半导体气体传感器 214
6.2.7 半导体气体传感器的应用 218
6.3 红外线吸收式气敏传感器 222
6.4 接触燃烧式气体传感器 224
6.5 热导率变化式气体传感器 227
6.6 湿式气敏传感器 228
第七章 湿度传感器 230
7.1 引言 230
7.1.1 湿敏元件的特性参数 231
7.2 电解质系湿度传感器 234
7.2.1 无机电解质湿度传感器 234
7.1.2 湿度传感器的分类 234
7.2.2 高分子电解质湿度传感器 238
7.2.3 有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 241
7.2.4 聚苯乙烯磺酸铵湿敏元件 242
7.3 半导体及陶瓷湿度传感器 242
7.3.1 涂覆膜型 242
7.3.2 烧结体型 244
7.3.3 薄膜型 247
7.4.1 胀缩性有机物湿敏元件 248
7.4 有机物及高分子聚合物湿度传感器 248
7.4.2 高分子聚合物薄膜湿敏元件 251
7.5 湿度传感器的标定及其设备 253
7.5.1 湿敏元件定量标定的原则 253
7.5.2 相对湿度的标定方法及设备 254
7.5.3 绝对湿度的标定方法及设备 259
7.6 湿度传感器的应用及发展动向 263
第八章 红外探测技术 265
8.1 红外辐射的基本知识 265
8.1.1 红外辐射 265
8.1.2 红外辐射术语 267
8.1.3 红外辐射源 269
8.2 红外探测器 271
8.2.1 常见红外探测器 271
8.2.2 红外探测器的性能参数 275
8.2.3 红外探测器使用中应注意的问题 280
8.3 红外测温 282
8.3.1 红外测温的特点 282
8.3.2 红外测温原理 283
8.4.1 红外成像原理 288
8.4 红外成像 288
8.4.2 红外成像仪 290
8.5 红外分析仪 292
8.6 红外无损检测 294
8.6.1 焊接缺陷的无损检测 294
8.6.2 铸件内部缺陷探测 296
8.6.3 疲劳裂纹探测 296
8.7 红外探测技术在军事上的应用 297
8.7.1 红外侦察 298
8.7.2 红外雷达 298