第1章 总论——超精密加工的必要性与界限·其理论考察 1
1.1 前言 1
1.2 陶瓷的加工技术 3
1.3 加工的界限与其理论考察 5
第2章 陶瓷的微细构造与物性 8
2.1 前言 8
2.2 金属材料的微细构造与物性 9
2.3 陶瓷材料的微细构造与物性 10
2.4 结晶的微细构造 15
第3章 瓷的制造技术 16
3.1 原料粉末的特性 16
3.2 单结晶 18
3.2.1 单结晶的育成 18
3.2.2 单结晶的应用 23
3.3 成形与烧结 28
3.3.1 加压成形 30
3.3.2 辊轧成形 32
3.3.3 挤压成形 32
3.3.4 印刷法 33
3.3.5 板成形 34
3.3.6 烧成 36
3.4 熔融与凝固 37
3.4.1 铸造与一方向凝固 37
3.4.2 一方向凝固法 38
3.4.3 熔融组成一致的场合 39
3.4.4 共晶组成的场合 41
3.5.2 改善显微镜微视构造的热间加工 43
3.5.1 改善致密化的热间加工 43
3.5 热间加工 43
第4章 精密加工技术的基础 48
4.1 陶瓷加工的特色 48
4.2 决定加工精度的要因 51
4.3 刚性 53
4.4 热变形 56
4.5 工具摩耗 59
4.6 加工变质层 61
4.7 加工环境 65
4.8 设计与精密加工 68
第5章 陶瓷的精密加工技术 70
5.1 精密成形 70
5.1.1 陶瓷材料的设计 70
5.1.2 膜状陶瓷用原料粉末的调制 71
5.1.3 铝alkoxide的加水分解 73
5.1.4 sol溶液的调制 75
5.1.5 陶瓷薄膜的制造法 77
5.1.6 陶瓷的精密成形系统 79
5.2 机械加工 80
5.2.1 研磨 81
5.2.5 搪磨、超细加工 85
5.2.3 砂布砂纸加工 86
5.2.4 抹磨 87
5.2.5 抛光 88
5.2.6 滚桶加工 90
5.2.7 超音波加工 91
5.2.8 喷射加工 92
5.2.9 用刀具的加工 92
5.2.10 切断法 93
5.2.11 开孔法 94
5.2.12 超精密加工技术的进步 94
5.3 化学加工 96
5.3.1 腐蚀 96
5.3.2 光腐蚀 101
5.3.3 接着·接合 106
5.4 电气加工 108
5.4.1 放电加工 108
5.4.2 电子束加工 110
5.4.3 离子加工 112
5.4.4 雷射加工 114
5.4.5 微波加工 117
5.4.6 电解研磨 118
5.5 表面处理 118
5.5.1 涂覆 119
5.5.2 蒸着 120
5.5.3 溅散法 121
5.5.4 有机薄膜 122
6.1 结晶方位的决定法 126
6.1.1 用X光方法决定方位 126
第6章 陶瓷方位、形状的精密测定 126
6.1.2 用光学方法决定方位 128
6.2 形状精度的测定法 129
6.2.1 表面粗糙度的测定法 130
6.2.2 平面度的测定 132
6.2.3 陶瓷筒管加工的测定法 135
6.2.4 磁头的形状加工与测定 137
6.3 加工所致的特性变化例 141
6.3.1 ferrite的导磁系数变化 141
6.3.2 矽晶片的积层缺陷 144
第7章 超精密加工实例 146
7.1 玻璃 146
7.1.1 球（平）面透镜 146
7.1.2 非球面透镜 148
7.1.3 超精密平面光学元件 151
7.2 卤化碱 153
7.2.1 一般制作方法 153
7.2.2 最近的倾向 154
7.3.1 研削与切断 155
7.3 蓝宝石 155
7.3.2 抹磨 156
7.3.3 抛光 157
7.3.4 应用例 159
7.4 水晶 161
7.4.1 加工变质层的影响 161
7.4.2 高精度的加工 162
7.4.3 薄片的两面同时加工 165
7.5 矽 166
7.5.2 照相制版 167
7.5.1 矽积体电路 167
7.5.3 腐蚀 171
7.5.4 电浆腐蚀 173
7.5.5 反应性离子腐蚀 176
7.6 Mn-Zn ferrite 179
7.6.1 用曲率法测定加工变质层 180
7.6.2 加工对磁气特性的影响 181
7.6.3 录影头的加工工程 183
7.7.1 超精密钻石刮子 184
7.7 钻石 184
7.7.2 Rockwell压子 186
7.7.3 钻石眼模 187
7.8 GaAs 188
7.8.1 单结晶制程 190
7.8.2 表面加工法 191
7.8.3 晶膜成长法 192
7.9 LiNbO3 194
7.9.1 LiNbO3的特性与应用 194
7.9.2 LiNLO3的精密加工 195
7.10 Gd3Ga5O12（GGG） 199
7.10.1 切断加工 200
7.10.2 抹磨 200
7.10.3 细研磨 201
7.10.4 表面检查 202
7.11 碳、石墨 203
7.11.1 碳与石墨的超精密加工 203
7.11.2 放电加工用电极与石墨工模 204
7.11.3 石墨电极用螺纹接管 204
7.11.4 玻璃状碳 205
7.11.5 高配向性石墨 206
7.12 氧化铝陶瓷 206
7.12.1 氧化铝陶瓷的生加工法 207
7.12.2 氧化铝陶瓷的後加工法 213
7.13 超硬工具 216
7.13.1 超硬工具材料 216
7.13.2 超硬工具的用途与主要加工方法 216
7.13.3 超硬制品的加工例 218
7.14.2 陶瓷用为机械材料的期望和要求特性 221
7.14.1 各种非氧化物陶瓷 221
7.14 非氧化物 221
7.14.3 Si3N4 SiC的合成法 223
7.14.4 Si3N4、SiC陶瓷的制造加工法 224
7.14.5 零件化时的注意事项 228
7.14.6 非氧化物陶瓷对高温机械零件的应用 229
第8章 超精密加工的展开 231
8.1 超精密加工的社会背景 231
8.2 超精密加工的工学背景 233
8.3 技能与科学技术 234
8.4 超精密加工的精神要素 235