第1章 绪论 1
1.1 微位移平台概述 1
1.2 数据采集系统概述 5
1.3 数据处理概述 8
第2章 整体结构设计 12
2.1 控制系统数据采集部分 12
2.2 检验系统数据采集部分 17
第3章 控制系统数据采集原理 20
3.1 香农采样定理 20
3.2 ADC/DAC转换指标 21
3.3 电容传感器的特性分析 23
第4章 检验系统数据采集原理 27
4.1 基于光的干涉理论的位移测量 27
4.2 激光干涉仪的测长原理 28
4.3 空气折射率算法 30
第5章 控制系统数据采集部分的实现方法 36
5.1 控制系统数据采集整体设计方案 36
5.2 主要器件选择 37
5.3 A/D电路设计 41
5.4 D/A与DSP接口电路设计 48
5.5 电路的PCB板制作与数据采集实验 49
5.6 信号完整性分析 54
5.7 数据采集 70
第6章 检验系统数据采集部分的实现方法 72
6.1 系统硬件设计 72
6.2 系统软件设计 74
6.3 实验过程及结果分析 79
第7章 控制系统数据处理 92
7.1 精密定位控制系统噪声来源分析 92
7.2 传统数字滤波器设计与分析 94
7.3 FIR滤波器设计 105
7.4 结合文化算法与案例推理的数字滤波器设计 116
7.5 电容传感器的非线性校正 142
第8章 检验系统数据处理 151
8.1 检验系统简介 151
8.2 测量参数 153
8.3 检验方法与数据处理 156
参考文献 166