第1章 绪论 1
1.1 引言 1
1.2 润滑薄膜的研究现状 1
1.3 薄膜的分类 3
1.4 设计选择膜层的基本原则 7
1.5 氮化物陶瓷薄膜摩擦磨损性能 8
1.6 本书主要内容 9
第2章 二元氮化物陶瓷薄膜 10
2.1 ⅣB族氮化物陶瓷薄膜：TiN 10
2.2 ⅤB族氮化物陶瓷薄膜：Mo-N 14
2.3 ⅥB族氮化物陶瓷薄膜：Nb-N 23
第3章 含铝氮化物陶瓷薄膜 26
3.1 Ti-A1-N薄膜 26
3.2 Mo-A1-N薄膜 33
3.3 Nb-A1-N薄膜 46
3.4 V-A1-N薄膜 59
3.5 Cr-A1-N薄膜 65
第4章 含硅氮化物陶瓷薄膜 70
4.1 Ti-Si-N薄膜 70
4.2 Ti-Mo-Si-N薄膜 72
4.3 Nb-Si-N薄膜 86
4.4 W-Si-N薄膜 89
第5章 含碳氮化物陶瓷薄膜 99
5.1 Zr-C-N薄膜 99
5.2 Cr-C-N薄膜 106
5.3 Nb-V-C-N薄膜 111
5.4 V-C-N薄膜 117
第6章 高温自润滑氮化物陶瓷薄膜 125
6.1 Ti-Mo-N薄膜 125
6.2 Nb-V-Si-N薄膜 133
6.3 Cr-Mo-N薄膜 143
6.4 Zr-V-N薄膜 146
6.5 W-Ti-N薄膜 151
第7章 含软金属氮化物陶瓷薄膜 160
7.1 TiN-Ag薄膜 160
7.2 NbN-Ag薄膜 167
7.3 Ag在过渡族金属氮化物中存在形式的研究 178
7.4 ZrN-Ag薄膜 182
7.5 NbN-Cu薄膜 189
第8章 含稀土元素氮化物陶瓷薄膜 194
8.1 Ti-Y-N薄膜 194
8.2 Nb-Y-N薄膜 203
参考文献 206