绪论 1
第一章 真空技术的物理基础 3
第一节 气体分子运动论的基本概念 3
第二节 气体分子速度的分布 4
第三节 气体分子之间的碰撞 9
第四节 气体分子与器壁之间的碰撞——余弦定理 13
第五节 气体沿导管的流动 16
第六节 真空系统抽气过程的理论基础 25
第二章 真空获得设备 29
第一节 概述 29
第二节 油封机械真空泵 31
第三节 分子泵 43
第四书扩散泵 49
第五节 吸附泵 60
第六节 热钛泵 67
第七节 溅射离子泵 78
第八节 冷凝泵 89
第九节 真空泵的性能测试 93
第三章 真空测量 98
第一节 概述 98
第二节 利用气体放电粗略估计真空度 98
第三节 压缩式真空计 101
第四节 热偶真空计 103
第五节 普通热阴极电离真空计 106
第六节 热阴极超高真空电离计 109
第七节 冷阴极磁控电离计（冷规） 111
第八节 真空计的校准 112
第四章 真空元件 116
第一节 真空阀门 116
第二节 捕集器（阱） 129
第三节 干燥器（干燥罐） 139
第五章 真空密封与连接 141
第一节 概述 141
第二节 可拆连接 141
第三节 可动连接 153
第四节 不可拆连接 161
第六章 真空中常用的材料 163
第一节 概述 163
第二节 金属材料 163
第三节 非金属材料 170
第四节 真空泵油 175
第七章 真空系统设计 178
第一节 真空系统的基本形式 178
第二节 真空系统的基本要求 184
第三节 流导的计算 186
第四节 真空容器的设计 198
第五节 真空系统元件的参量计算及选择 201
第六节 抽气时间的计算 205
第七节 真空系统的安装与调试 207
第八节 真空系统计算举例 210
第八章 真空检漏 214
第一节 概述 214
第二节 检漏方法 215
第三节 补漏剂 226
第九章 真空应用设备举例 227
第一节 排气设备 227
第二节 电子束蒸发镀膜设备 231