目 录 1
第一章前言 1
第二章原理 5
2.1 X射线显微分析仪的基本特点与结构 5
2.1.1 X射线显微分析仪的特点 5
2.1.2X射线显微分析仪的基本结构 13
2.2 电子与物质的相互作用 14
2.2.1 电子与物质相互作用的梗概 15
2.2.2 X射线的产生与X射线的特性 19
2.2.3各种电子及其信息 27
2.2.4信息源的大小 33
2.2.5 电子束照射点的温度上升 37
2.3 X射线的色散 38
2.3.1波长色散法 39
2.3.2能量色散法 41
第三章仪器 43
3.1电子光学系统 43
3.1.1电子枪 43
3.1.2电子透镜 47
3.1.3消像散装置 50
3.2光学观察系统 54
3.3样品室 55
3.4.1 X射线分光谱仪的构造 56
3.4 X射线分光谱仪系统 56
3.4.2分光晶体 57
3.4.3探测器 61
3.4.4 X射线分光谱仪的性能 63
3.4.5软X射线色散中的注意事项 66
3.4.6 X射线的测量装置 68
3.5电子束扫描系统 70
3 5.1二次电子像 71
3.5.2背散射电子像 74
3.5.3吸收电子像 76
3.5.4透射电子像 78
3.5.5 X射线像 80
3.6.1加热装置 84
3.6附属装置 84
3.6.2 电视（TV）扫描装置 87
3.6.3寇塞尔相机 89
第四章样品 91
4.1样品的制备方法 91
4.1.1样品的大小 91
4.1.2样品表面的凹凸与研磨 92
4.1.3样品表面凹凸引起的X射线强度变化 94
4.1.4腐蚀引起的样品表面变化 95
4.1.5样品的导电性与喷镀 96
4.1.6粉末样品及薄膜样品的制备 97
4.1.7特殊样品 98
4.2.1 标准样品与测量背底所用样品的选择 99
4.2标准样品 99
4.2.2合成样品的制备 100
第五章测量 101
5.1 测量前的调研与测量准备 101
5.2定性分析 102
5.2.1定性分析方法 102
5.2.2峰背（L-B）比与探测极限 106
5.3定量分析 109
5.3.1加速电压的选择 109
5.3.2入射电流（吸收电流）与计数时间的选择 112
5.3.3对多种元素同时进行分析时存在的问题 120
5.4.1点分析 122
5.4测量区域与分析方法 122
5.4.2线分析 123
5.4.3面分析 127
第六章修正 130
6.1修正的物理基础 131
6.1.1 入射电子的穿透及散射过程 134
6.1.2 X射线的产生过程 139
6.1.3 X射线的吸收过程与荧光激发 154
6.1.4 f（x）函数 162
6.2修正方法 165
6.2.1 原子序数修正与吸收修正的关系 166
6.2.2原子序数修正 167
6.2.3吸收修正 171
6.2.4荧光（激发）修正 173
6.3修正计算举例 179
6.3.1原子序数修正系数 180
6.3.2吸收修正系数 181
6.3.3荧光（激发）修正系数 183
6.3.4 总的修正系数及修正值 186
6.3.5 实际应用中修正系数的求法 186
6.4 修正系数随测量条件及样品成分而发生的变化 187
6.4.1 原子序数修正系数Gz的变化 187
6.4.2吸收修正系数G Ab的变化 188
6.4.3荧光（激发）修正系数GF的变化 189
6.5利用电子计算机进行修正计算 190
第七章应用 192
参考文献 196
参考图书 201
附表1 元素名称、原子序数、原子量、密度 202
附表2 特征X射线与吸收边及其激发电压 206
附表3 质量吸收系数 212
附表4 轻元素特征X射线的质量吸收系数 234
附表5 吸收边短波长一侧的质量吸收系数 236
附表6 强度函数 240
附表7 J（A）值 245
附表8 激发效率 247
附表9 cosecφ值 249
附表10 汤姆逊－惠丁顿公式〔式（5.5）〕中的常数随加速电压 250
（V0）的变化 250