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《微纳加工科学原理》PDF下载
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作 者：唐天同编著
出 版 社：北京：电子工业出版社
出版年份：2010
ISBN：9787121110184
页数：525 页
图书介绍：本书基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、全面地论述关于现代微米与纳米微细加工的科学原理。
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