第一章 高纯水与集成电路 1
1.1 概述 1
1.2 集成电路与高纯水 3
1.3 水中的杂质及其分类 4
1.4 高纯水中对集成电路有害的杂质 5
1.5 高纯水中有害杂质的去除 11
1.6 水中电解质含量与电阻率的关系 13
第二章 高纯水制备中的预处理 15
2.1 制水过程简介 15
2.2 凝聚与混凝 17
2.3 过滤及深层过滤 23
2.4 吸附 28
2.5 软化 33
2.6 脱气 36
第三章 电渗析 40
3.1 电渗析的特点 40
3.2 电渗析脱盐原理 40
3.3 电渗析中的传递过程 41
3.4 离子交换膜 43
3.5 离子交换膜的选择透过机理 46
3.6 离子交换膜的污染、中毒和保管 47
3.7 离子交换膜的膜化学和电化学指标测试 48
3.8 电渗析器的主要部件 49
3.9 电渗析器的组装 53
3.10 浓差极化的危害及控制 55
3.11 电渗析器主要性能指标的测试 56
3.12 电渗析进水水质指标及处理方法 59
3.13 电渗析器的运转与管理 61
3.14 频繁倒极电渗析器（EDR） 62
3.15 连续除盐电渗析器（CDI） 62
3.16 常见故障现象分析及解决办法 63
4.1 膜分离技术简述 66
第四章 反渗透脱盐 66
4.2 反渗透 68
4.3 反渗透膜的种类 75
4.4 反渗透膜的性能 78
4.5 反渗透装置 85
4.6 反渗透水处理系统 88
4.7 有关反渗透的计算 90
4.8 反渗透的预处理及杂质去除方法 94
4.9 反渗透的后处理及维护 97
4.10 双级反渗透 99
5.2 离子交换的基本原理 101
第五章 离子交换树脂 101
5.1 概述 101
5.3 离子交换树脂的结构 103
5.4 离子交换树脂的分类 105
5.5 离子交换树脂的性质 106
5.6 离子交换树脂性能的测试方法 113
第六章 离子交换树脂脱盐与再生 128
6.1 离子交换脱盐装置 128
6.2 离子交换树脂的污染及处理 131
6.3 大孔树脂和均孔树脂 137
6.5 离子交换树脂的再生方法 141
6.4 离子交换树脂的再生原理 141
6.6 影响树脂再生的因素 143
6.7 大孔树脂的再生 144
第七章 超过滤及精密过滤 145
7.1 超过滤 145
7.2 精密过滤 160
第八章 消毒灭菌 166
8.1 紫外线杀菌 167
8.2 臭氧消毒灭菌 173
9.1 纯水制造中的材质污染及材质选样 176
第九章 纯水制造中的材质污染及水质监控 176
9.2 纯水系统设计与系统参数计算 182
9.3 纯水制造中的水质监控 186
第十章 原水水质分析 192
10.1 水样的采集和储存 192
10.2 原水分析 198
10.3 水质分析结果的检验 240
第十一章 高纯水的分析 244
11.1 水的纯度及水质标准 244
11.2 分析方法的选择和评价 248
11.3 分析数据的处理及评价 252
11.4 水样的采集、储存和运送 261
11.5 电阻率和电导率的测定 262
11.6 金属元素的测定 269
11.7 硅的测定 278
11.8 阴离子的测定 282
11.9 有机物的测定 285
11.10 颗粒的测定 289
11.11 细菌的测定 294
11.12 高纯水中细菌内毒素的测定 297
附录 301
参考文献 317