第一章 概述 1
第一节 沉积膜层的方法 1
第二节 干法镀及其相关技术 4
第三节 干法镀的特点 7
第四节 干法镀的应用 13
第五节 干法镀的现状和展望 17
第二章 真空技术 24
第一节 基本概念 24
第二节 真空的获得 31
第三节 真空测量 45
第四节 真空检漏 50
第五节 真空系统内的材料 52
第一节 真空镀膜与涂料 58
第三章 涂料和施涂 58
第二节 常用涂料简介 62
第三节 紫外光固化涂料 69
第四节 施涂方法 80
第四章 镀膜前的表面处理 83
第一节 镀件的成型 83
第二节 镀件表面的清洁方法 83
第三节 静电除尘 89
第四节 镀件的除气 96
第五节 涂底漆 97
第五章 真空蒸发镀膜 99
第一节 真空镀膜机 99
第二节 蒸发源 104
第三节 热蒸镀方法 123
第四节 真空热蒸发镀膜工艺 142
第五节 金属膜的制备 146
第六节 化合物膜的制备 160
第七节 膜层结合力及其影响因素 169
第六章 磁控溅射镀膜 182
第一节 磁控溅射镀膜机 182
第二节 磁控溅射镀膜原理 189
第三节 磁控溅射源 203
第四节 制靶技术 210
第五节 磁控溅射镀膜工艺 215
第六节 金属、合金的溅射 221
第七节 膜层质量与溅射工艺条件 226
第七章 离子镀膜 243
第一节 离子镀膜机 243
第二节 离子镀膜原理 251
第三节 直流离子镀法 257
第四节 弧光放电型高真空离子镀 259
第五节 高频离子镀 262
第六节 中空阴极法离子镀 267
第七节 反应性离子镀 270
第八节 离子镀膜工艺 273
第九节 影响膜层特性的主要因素 277
第八章 镀后处理 288
附录一 用干法镀的塑料 289
附录二 干法镀制品的物性 290
附录三 包装用蒸镀膜的阻气性 291
附录四 塑料镀层的特性 291
附录五 镀层性能指标及测示方法 296