第一章 真空技术的基本理论与简单计算 1
第一节 真空与真空的量度 1
第二节 分压强定律 12
第三节 理想气体定律及应用举例 16
第四节 真空技术常用的物理概念及简单计算 28
第五节 气体流动状态及流导 34
第六节 真空技术的基本方程 64
第七节 真空系统简单计算 78
第八节 真空技术理论研究范畴与在实践中的应用 87
第二章 机械真空泵(低真空泵) 105
第一节 油封机械真空泵 106
第二节 定片式机械真空泵(定片泵) 110
第三节 滑阀式机械真空泵(滑阀泵) 111
第四节 往复式机械真空泵 117
第五节 水蒸气喷射泵 120
第六节 机械增压泵(罗茨泵) 125
第三章 旋片式油封机械真空泵(旋片泵) 130
第一节 旋片泵的结构与工作原理 130
第二节 旋片式真空泵的结构特征分析 140
第三节 旋片泵的参量 178
第四节 旋片泵的改进 187
第五节 旋片泵的技术条件和试验方法 195
第四章 机械真空泵的维修 208
第一节 机械真空泵的安装、使用、维护和保养 208
第二节 油封机械真空泵常见故障 211
第三节 油封机械泵修理工艺概述 214
第四节 油封机械泵的总装配 232
第五节 油封机械泵常见故障分析和维修实例 241
第六节 多室泵和往复泵的维修 257
第七节 某些零部件的加工工艺简介 263
第八节 修泵常用工具、材料和设备 281
第五章 高真空泵 284
第一节 油扩散泵 284
第二节 油扩散泵使用、操作、维护、修理和性能试验 338
第三节 无油类型的真空泵 359
第六章 真空系统和材料 401
第一节 决定真空系统性能的因素 401
第二节 真空系统的典型结构 403
第三节 真空系统用泵的选择 409
第四节 真空材料 415
第五节 辅助密封材料 424
第六节 真空系统的连接 428
第七节 阱 445
第八节 阀 455
第九节 真空系统的鉴定和清洗 469
第十节 真空系统的安装与调试 471
第十一节 真空系统排气 475
第十二节 真空获得技术的应用实例 479
第十三节 真空系统的污染及消除 510
第七章 实用真空测量和检漏技术 545
第一节 真空测量技术 545
第二节 真空检漏技术 603
第三节 氦质谱检漏仪 629
附录(二十六项) 670