1.1 扫描电镜的基本特点 1
第一章 扫描电镜的基本特点与结构 1
1.2 扫描电镜的基本结构 3
1.2.1 电子枪 4
1.2.2 电子透镜 5
1.2.3 扫描系统 7
1.2.4 消象散装置 8
1.2.5 检测器 9
1.2.6 真空系统 11
2.1 电子束与样品的相互作用 12
第二章 扫描电镜的成象原理 12
2.2 二次电子成象 14
2.3 背散射电子成象 15
2.4 吸收电流象 18
第三章 X射线的产生与X射线的特性 18
3.1 X射线的产生 18
3.2 特征X射线 19
3.3 X射线被物质的吸收 22
3.4 吸收边与荧光激发 23
4.2 波长色散谱仪(WDS) 25
4.2.1 基本结构 25
第四章 X射线的测量：WDS和EDS 25
4.1 引言 25
4.2.2 X射线检测器 31
4.2.3 检测器电子线路 33
4.3 能量色散X射线谱仪(EDS) 43
4.3.1 工作原理 43
4.3.2 检测过程 43
4.3.3 检测过程中的假象 48
4.3.4 主放大器和脉冲堆积的去除 56
4.3.5 来源于检测器环境的假象 65
4.3.6 多道脉高分析器 77
4.3.7 EDS工作与假象的小结 85
4.4.1 几何收集效率 86
4.4 WDS与EDS的对比 86
4.4.2 量子效率 87
4.4.3 分辨率 88
4.4.4 可接收的谱线范围 90
4.4.5 最大计数率 91
4.4.6 最小电子束尺寸 91
4.4.7 分析速度 93
4.4.8 谱线假象 94
附录：新检测器的安装与检验 94
第五章 X射线定性分析 98
5.1 概述 98
5.2.1 X射线谱线 101
5.2 EDS定性分析 101
5.2.2 EDS定性分析的指南 105
5.2.3 EDS定性分析中的峰重叠问题 112
5.2.4 EDS定性分析实例 114
5.3 WDS定性分析 117
5.3.1 X射线的测量 117
5.3.2 WDS定性分析一般原则 123
5.4 X射线扫描 125
第六章 X射线微区分析的定量 131
6.1 引言 131
6.2.1 引言 132
6.2 ZAF修正技术 132
6.2.2 吸收因子A 134
6.2.3 原子序数因子Z 143
6.2.4 特征荧光修正因子F 150
6.2.5 连续荧光修正 153
6.2.6 ZAF技术讨论小结 155
6.3 经验方法 160
6.4 电子束非垂直入射的定量分析 165
6.5 微粒与粗糙表面的分析 168
6.5.1 几何效应 168
6.5.2 几何效应的补偿 177
6.5.3 总结 181
6.6 薄膜与薄片的分析 183
6.6.1 薄片 183
6.6.2 载体上的薄膜 185
6.7 生物样品的定量分析 195
6.7.1 引言 195
6.7.2 分析期间的质量损失与假象 197
6.7.3 块状样品 198
6.7.4 大块载体上的厚切片 202
6.7.5 薄切片 202
6.7.6 连续谱法 205
6.7.7 很薄支持膜上的厚样品 210
6.7.8 微液滴 211
6.7.9 标样 212
6.7.10 结论 214
附录A：连续谱方法 214
附录B：生物材料定量分析实例 220
第七章 X射线微区分析的实际技术 228
7.1 数据处理的一般考虑： 228
7.2 背底的形状 231
7.2.1 背底的模式 232
7.2.2 背底的滤波 239
7.3 峰的重叠 244
7.3.1 线性 246
7.3.2 拟合 247
7.3.3 线性方法 248
7.3.4 非线性方法 257
7.3.5 误差估计 261
7.4 死时间修正 264
7.5 定量分析实例 265
7.6 X射线微区分析的精度和灵敏度 268
7.6.1 计算精度和灵敏度的统计学基础 268
7.6.2 样品的均匀性 269
7.6.3 分析灵敏度 272
7.6.4 微量元素分析 273
7.7 轻元素分析 277
第八章 材料样品的制备 285
8.1 材料和陶瓷 285
8.1.1 扫描电镜 286
8.1.2 X射线微区分析 286
8.2 微粒和纤维 290
8.3 含水的材料 296
8.3.1 土壤 296
8.3.2 聚合物 297
9.1 序言 298
9.1.1 样品的性质 298
第九章 在SEM和X射线微区分析中的喷镀技术 298
9.3 离子溅射喷镀 300
9.1.2 喷镀的选择 302
9.1.3 薄膜技术 303
9.2 热蒸发 303
9.2.1 高真空蒸发 304
9.2.2 低真空蒸发 309
9.3.1 离子束溅射 311
9.3.2 二极管或直流溅射(DC) 311
9.3.3 低温二极管溅射 313
9.3.4 溅射技术 313
9.3.5 靶的选择 314
9.3.6 喷镀的厚度 315
9.3.7 离子溅射喷镀的优点 315
9.3.8 溅射喷镀伴随产生的假象 316
9.4 特殊喷镀方法 317
9.4.1 高分辨喷镀 317
9.4.2 低温喷镀 318
9.5 喷镀厚度的测量 319
9.5.1 喷镀后的测定 319
9.5.2 移去喷镀层 320
第十章 扫描电镜生物样品的制备 321
10.1 序言 321
10.2.1 模拟样品台 322
10.2 电镜的改进 322
10.2.2 非最佳电镜性能的利用 323
10.3 样品的改进 324
10.3.1 光镜和电镜的对照观察 324
10.3.2 样品的挑选 325
10.3.3 样品的清洁 326
10.3.4 样品的粘固 327
10.3.5 提示内表面 329
10.3.6 已知生理活性的区域定位 333
10.3.7 样品的脱水 335
10.3.8 样品的支撑 339
10.3.10 重金属的导入 340
10.3.9 样品的导电性 340
10.3.11 赝象和解释 341
第十一章 X射线微区分析时生物样品的制备 345
11.1 序言 345
11.1.1 问题的性质和困难： 345
11.1.2 X射线微区分析的应用 347
11.1.3 X射线微区分析研究的类型 347
11.1.4 生物样品的类型 348
11.1.5 策略 350
11.1.6 关于良好样品制备的标准 351
11.2.2 固定 352
11.2 常温下的制备过程 352
11.2.1 固定前 352
11.2.3 组织化学技术 353
11.2.4 沉淀技术 354
11.2.5 脱水 355
11.2.6 包埋 356
11.2.7 切片和断裂 356
11.2.8 样品的支撑 357
11.2.9 样品的染色 357
11.2.10 样品的喷镀 357
11.3.1 样品的预处理 358
11.3 低温样品制备 358
11.3.2 冷冻过程 360
11.3.3 冷冻-含水或局部冷冻-含水材料 361
11.3.4 冷冻干燥 361
11.3.5 冷冻置换 366
11.3.6 切片 369
11.3.7 断裂 370
11.4 微区灰化 371
第十二章 扫描电镜观察和X 射线微区分析的实践 373
第十三章 基本数据表 378
第十四章 主要参考文献 420