第一章 氧气 1
1.1 氧分子结构 1
1.2 氧气的物理性质 2
1.3 氧气的化学性质 11
1.4 氧气的制法 14
1.5 氧气的应用 17
第二章 氮气 23
2.1 氮分子结构 23
2.2 氮气的物理性质 24
2.3 氮气的化学性质 31
2.4 氮气的制法 33
2.5 氮气的应用 34
第三章 氢气 36
3.1 氢分子结构 36
3.2 氢气的物理性质 37
3.3 氢气的化学性质 44
3.4 氢气的制法 49
3.5 氢气的应用 55
第四章 一氧化碳和二氧化碳 62
4.1 一氧化碳 62
4.2 二氧化碳 72
第五章 氮化物气体 85
5.1 氨 85
5.2 氧化二氮 95
5.3 一氧化氮 100
5.4 二氧化氮 105
第六章 稀有气体 109
6.1 稀有气体的概况 109
6.2 氦气 114
6.3 氖气 123
6.4 氩气 129
6.5 氪气 139
6.6 氙气 145
6.7 氡气 163
第七章 硼化物气体 168
7.1 乙硼烷 168
7.2 三氯化硼 172
7.3 三氟化硼 176
7.4 三溴化硼 176
第八章 磷化物气体 182
8.1 磷烷 182
8.2 三氯化磷 186
8.3 三氟化磷 189
8.4 五氟化磷 191
8.5 三氯氧磷 193
8.6 三溴化磷 195
第九章 砷化物气体 197
9.1 砷烷 197
9.2 三氯化砷 202
9.3 三氟化砷 206
9.4 五氟化砷 209
第十章 氯及氯化物气体 211
10.1 氯气 211
10.2 氯化氢 219
10.3 四氯化硅 224
10.4 三氯氢硅 228
10.5 二氯氢硅 232
10.6 四氯化碳 235
10.7 四氯化钛 237
10.8 四氯化锡 239
10.9 四氯化锗 241
第十一章 氢化物气体 243
11.1 硅烷 243
11.2 乙硅烷 248
11.3 锗烷 250
11.4 硒烷 252
11.5 氢化碲 256
11.6 氢化锑 257
11.7 溴化氢 258
11.8 硫化氢 262
第十二章 氟化物气体 270
12.1 四氟化碳 270
12.2 四氟化硅 274
12.3 六氟乙烷 278
12.4 八氟丙烷 280
12.5 氟化氢 282
12.6 六氟化硫 285
12.7 三氟化氮 286
第十三章 卤化碳气体 287
13.1 三氟甲烷 287
13.2 五氟氯乙烷 290
13.3 二氟二氯甲烷 292
13.4 一氟三氯甲烷 295
13.5 三氟一氯甲烷 296
第十四章 有机化合物气体 301
14.1 三甲基镓和三乙基镓 301
14.2 三甲基铝、三乙基铝和三丁基铝 302
14.3 二甲基锌和二乙基锌 304
14.4 二甲基隔和二乙基镉 305
14.5 三甲基铟和三乙基铟 306
14.6 三甲基锑和三乙基锑 306
14.7 甲烷 308
14.8 乙烷 313
14.9 乙炔 317
14.10 乙烯 321
第十五章 气体的一般换算 327
15.1 气体体积换算成标准状况 327
15.2 气体的重量与体积的计算 329
15.3 气体混合物比重和气体容量分析中的基本计算 330
15.4 气体的几种浓度表示法 332
15.5 体积浓度之间的换算 335
15.6 例题计算 337
15.7 常用物理量及其换算 345
第十六章 气体的纯度及其对产品质量的影响 358
16.1 气体的纯度及其表示法 358
16.2 气体中的杂质 359
16.3 集成电路对气体纯度的要求 360
16.4 我国半导体工业用气体产品 369
16.5 国外半导体工业用气体品种及技术指标 374
16.6 气体来自容器的杂质沾污及防污染措施 389
第十七章 气体的纯化剂、纯化装置及净化方法 392
17.1 气体的纯化剂 392
17.2 气体纯化装置 437
17.3 气体的净化方式及操作要点 457
第十八章 气体的传输要求及控制装置 479
18.1 气体来自传输过程中的杂质污染 479
18.2 气体输运过程中的气密性 485
18.3 气体传输系统金属化及洁净处理 487
18.4 气体传输系统中的接头 490
18.5 气体传输系统中的阀门 492
18.6 气体传输系统的检漏与净化处理 494
18.7 阀门和容器阀门 496
18.8 减压器 501
18.9 气体压力表 507
18.10 过流控制器 509
18.11 质量流量控制器 510
18.12 微型转子气体流量计 514
18.13 吹洗装置 521
第十九章 气体的监测及分析 525
19.1 气体监测和分析的重要性 525
19.2 工艺气体的控制 526
19.3 工艺气体的监测 529
19.4 气体分析方法及分析仪器 532
19.5 气相色谱法 535
19.6 质谱仪分析法 540
19.7 微量水的测定方法 555
19.8 微量氧的测定方法 559
19.9 光谱法 561
19.10 气体中金属离子的分析 564
19.11 气体中灰尘的测量 565
19.12 高纯气体分析中的几个关键 567
19.13 标准气体的配制 570
19.14 气体检测试纸、检气管和有毒气体的测定方法 574
第二十章 气体灾害及安全使用 598
20.1 可燃气体或蒸气 598
20.2 气体灾害的分类 604
20.3 高压气体容器引起的灾害 606
20.4 高压气体设备的灾害 609
20.5 高压氧气管道的燃烧事故 611
20.6 钢瓶充气应注意的事项 616
20.7 充气容器的贮存注意事项 618
20.8 气体容器的搬运注意事项 619
20.9 高压气体的使用安全 621
20.10 输氧管道的防灾措施 627
20.11 气体操作室和用气设备的注意事项 628
20.12 气体泄漏处理的注意事项 629
20.13 废气处理应注意事项 631
20.14 火灾时的紧急处理 638
20.15 中毒时的紧急处理 639
20.16 排毒与通风 648
附录 656
附表-1 共价单键的键矩 656
附表-2 在气相中分子的偶极矩 657
附表-3 标准状况下，气体的粘性系数和分子直径 658
附表-4 一些气态物质(在1个大气压时)的摩尔热容Cp 659
附表-5 各种气体的介电常数(在一个大气压下) 660
附表-6 无机液态气体的介电常数 661
附表-7 一些气态物质(1大气压，298.2k时)的热力学函数 662
附表-8 一些气态物质的自由能函数-(G°-H°0)/T和△H°0 664
附表-9 不同温度下某些气体在水中的亨利常数(Kx×10-7) 665
附表-10 气体和固体反应的速率常数k 666
附表-11 某些气体反应的平衡常数 670
附表-12 气体一些自由基反应的速率常数 673
附表-13 气--固催化反应 675
附表-14 气相光化学反应 683
附表-15 气相快速反应 684
附表-16 真实气体的逸度系数r值 686
附表-17 元素与气体和液体的反应 689
附表-18 气体系统在化学气相淀积无机涂层材料中的应用 707
附表-19 半导体气敏材料用于检测气体的种类 710
附表-20 空气的物理化学常数 712
附表-21 干燥空气平均成分 713
附表-22 不同温度下空气的密度(1个大气压下) 714
附表-23 使空气饱和的水蒸气含量 715
附表-24 露点温度与含水量对照表 717
附表-25 露点和含水量(PPm) 719
附表-26 空气在水中的溶解度 719
附表-27 空气的导热系数 720
附表-28 空气的粘度 720
附表-29 空气的比热和热容比 721
附表-30 空气中微粒的分类 722
附表-31 微尘的种类和粒径 724
附表-32 空气中含有的生物微粒 724
附表-33 生物微粒标准的参考值 725
附表-34 一部分国家大气尘标准 726
附表-35 美国某公司集成电路生产的环境指标 727
附表-36 美国联邦标准(FS209E) 728
附表-37 国际空气洁净度标准(草案) 729
附表-38 《空气洁净技术措施》的空气洁净度级别 729
附表-39 美国宇航标准中的洁净度级别 729
附表-40 空气过滤器分类、性能和用途 730
附表-41 高压气瓶的漆色和标志 731
附表-42 气体容器的材质及规格 734
附表-43 常用压缩气体和液化气体的设计压力 735
附表-44 液化气的充填常数 736
附图1 压缩因子图 738
附图2 气体的焓与对比温度和对比压力的关系 740