1.1 微光机电系统的定义与历史 1
1.1.1 MOEMS的定义 1
第1章 微光机电系统概述 1
1.1.2 MOEMS发展历史 2
1.2 MOEMS的应用和市场前景 3
1.2.1 MOEMS器件的特点 3
1.2.2 形成产业的几个MOEMS实例 3
1.2.3 MOEMS器件的市场情况 7
1．在线资源 8
1.2.4 现阶段MOEMS研究的主要问题 8
1.3 与MOEMS相关的资讯 8
2．与MOEMS相关的会议 9
3．参考书与论文收集 9
4．杂志 9
参考文献 10
第2章 MOEMS的设计与仿真 11
2.1 微型化带来的“特殊”理论问题 11
3．流体力学中的尺寸效应 12
2．部分力的尺寸效应 12
1．几何结构学中的尺寸效应 12
4．热传递中的尺寸效应 13
2.2 MOEMS的设计过程 13
2.2.1 微系统设计流程 13
2.2.2 微系统设计实例 14
1．类型选择和指标确定 15
2．压阻式微加速度计的结构设计及工作原理 15
4．加速度计主要性能指标测量方法 18
3．工艺流程 18
2.3 MOEMS的仿真及其软件 19
2.3.1 器件设计模拟的具体方法 20
1．工艺设计 20
2．掩膜版图设计 20
3．结构仿真器 21
4．材料特性数据库 21
5．器件的模拟和优化 21
2.3.2 MOEMS CAD软件 21
3．ANALYZERTM 22
1．ARCHITECTTM 22
2．DESIGNERTM 22
4．INTEGRATORTM 23
参考文献 24
第3章 典型的微结构制造工艺 26
3.1 微电子工艺概述 26
3.1.1 光刻 26
3.1.2 刻蚀 27
1．湿法刻蚀 27
2．干法刻蚀 28
3.1.3 薄膜淀积 28
1．氧化 28
2．化学气相淀积 28
3．蒸发 28
4．溅射 29
3.2 表面工艺 29
3.2.1 表面工艺的工艺流程 29
1．制膜工艺 30
3.2.2 表面工艺中的关键工艺 30
2．牺牲层工艺 31
3.2.3 标准工艺 31
3.3 体硅工艺 34
3.3.1 体硅工艺的工艺流程 34
3.3.2 体硅工艺中的关键工艺 34
1．各向同性和各向异性湿法刻蚀 34
2．湿法腐蚀 36
3．干法腐蚀 37
4．感应耦合（ICP）离子刻蚀 38
3.3.3 标准工艺 39
3.4 LIGA工艺 41
3.4.1 LIGA工艺流程 41
1．标准工艺 41
2．准LIGA工艺 42
3.4.2 LIGA工艺中的关键工艺 42
3.5 微制造工艺小结 44
参考文献 44
1．压阻敏感原理 46
4.1.1 微传感器件通常采用的敏感原理 46
4.1 MOEMS器件的敏感原理和执行方式 46
第4章 MOEMS器件 46
2．电容敏感原理 47
3．隧道电流敏感原理 49
4.1.2 微执行器件通常采用的执行方式 50
1．静电执行方式 50
2．压电执行方式 51
3．热执行方式 52
4．电磁执行方式 53
4.2 微力学器件 54
4.2.1 微力学传感器 54
1．微压力传感器 54
2．微加速度计 70
3．微陀螺仪 86
4．微传声器 97
5．微位移传感器 102
4.2.2 力学执行器 103
1．微马达 103
2．微开关 108
3．微夹钳 111
4.3 RF微器件 116
4.3.1 基本器件 116
1．RF微开关 116
2．微电容 130
3．微电感 141
4．微天线 148
4.3.2 组件 160
1．移相器 160
2．滤波器 167
3．谐振器 169
4.4 微光学器件 172
4.4.1 典型光学微传感器与微执行器 173
1．红外探测器 173
2．数字微镜器件与数字光路处理器 179
3．栅状光阀成像系统 182
4.4.2 微光通信器件 185
1．微光开关 185
2．光交叉连接器 192
3．可调光衰减器 196
4．微机械光纤耦合器 200
4.5 微流体器件 200
4.5.1 微流体传感器 201
1．微流量传感器 201
2．粘度／密度传感器 203
4.5.2 微流体执行器 204
1．微流体通道 204
2．微阀 209
3．微泵 214
4．微混合器 221
5．微喷 226
4.6 其他微传感器 228
4.6.1 微磁场传感器 228
1．光纤弱磁场传感器 229
2．微型磁场传感器 231
3．微磁性组件 238
4.6.2 微温度传感器 240
参考文献 243
5.1 微封装技术 265
第5章 微系统集成 265
5.1.1 微电子封装 267
5.1.2 微系统封装 268
1．分类 268
2．基本技术及工艺 277
5.2 微系统集成应用实例 286
5.2.1 微推进系统 286
1．工作原理 286
2．国内外现状 286
3．结构 288
5.2.2 微惯性组合 293
1．工作原理 293
2．国内外现状 294
3．结构 294
5.2.3 微型分布式信息获取单元 300
1．工作原理 300
2．国内外现状 300
3．结构 302
参考文献 308