《薄膜技术与薄膜材料》PDF下载

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作　　者：田民波编著
出版社：北京：清华大学出版社
出版年份：2006
ISBN：7302132380
页数：962 页

图书介绍：本书内容包括真空技术部分、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析5大部分。

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