1 微机电系统概述 1
1.1 微机电系统技术的基本概念及特点 1
1.2 微机电系统的研究领域 3
1.3 微机电系统采用的材料 5
1.4 主要工艺技术 6
1.5 微机电系统技术的发展 6
1.6 微机电系统的应用前景 8
参考文献 10
2 微机电系统的材料 11
2.1 概述 11
2.2 硅 12
2.3 陶瓷 15
2.4 金属 17
2.5 凝胶 20
2.6 电流变体（Electro-rheological fluids,ERF） 22
2.7 磁流变体（Magneto-rheologicalfluids,MRF） 23
参考文献 25
3 硅集成电路工艺基础 26
3.1 薄膜生长 26
3.2 光刻 42
3.3 薄膜刻蚀 52
参考文献 59
4 MEMS加工技术 61
4.1 硅的湿法腐蚀 62
4.2 硅的深刻蚀技术 68
4.3 键合与双面光刻技术 71
4.4 集成工艺 75
4.5 其他工艺技术 81
参考文献 86
5 微机电系统的设计方法学 88
5.1 MEMS设计概述 88
5.2 MEMS系统级设计 91
5.3 MEMS器件级设计 95
5.4 MEMS工艺设计 106
5.5 版图设计 113
5.6 IMEE系统及其设计实例 116
参考文献 130
6 微机电系统的组成 132
6.1 微机械传感器 132
6.2 微驱动器 157
6.3 微能源 174
参考文献 183
7 微机电系统检测技术 186
7.1 概述 186
7.2 微几何量测量 187
7.3 微机械材料特性检测 198
参考文献 220
8 微机电系统的应用 222
8.1 微机电系统在医学中的应用 222
8.2 微机电系统在汽车中的应用 232
8.3 微机电系统在信息技术中的应用 236
8.4 微机电系统在军事领域中的应用 247
参考文献 266