规范 1
硬面光掩模基板 1
中文版前言 7
前言 8
规范 13
硬面光掩模用铬薄膜 13
出版物定购单 17
硬面感光板中光致抗蚀剂和电子抗蚀剂 17
规范 17
SEMI通信 21
圆形石英玻璃光掩模基板 21
规范 21
组织机构图解 22
委员会介绍 25
薄膜 29
规范 29
地区标准委员会 30
标准 31
多色（宽带），（1:1）分步扫描镜式投影系统用薄膜 31
国际标准委员会 31
单色、单波长精缩分步重复系统用薄膜 33
地区委员会一览表 33
标准 33
光掩模对准标记 35
规范 35
粘度测定，方法A——运动粘度 40
方法 40
光致抗蚀剂中水含量的测定 42
方法 42
微电子抗蚀剂功能测试 44
指南 44
光掩模定单输入数据结构 51
规范 51
7．计算校验和 74
附录 SEMI定单输入数据文件举例 74
微石印术工业有关的SEMI术语和定义 74
6．术语 74
1．引言 74
2．有关标准 74
3．限制 74
4．指定和约定 74
5．语法规范 74
SEMI P1— 83
8．操作 85
9．合格证 85
10．包装和标志 85
7．抽样 85
SEMI P4— 85
1．引言 85
3．定义 85
5．外观准则 85
4．订货资料 85
2．有关文件 85
6．缺陷 85
5．粘贴要求 86
SEMI P5.2— 86
1．引言 86
2．有关文件 86
3．定义 86
4．订货资料 86
5．要求 86
6．试验方法 86
10．包装和标志 86
8．操作 86
9．合格证 86
SEMI P5.1— 86
5．尺寸和允许偏差 86
4．缺陷极限 86
1．范围 86
3．薄膜规范（整个有效区） 86
2．框架规范 86
7．抽样 86
1．引言 86
7．平正度要求 86
8．外观准则 86
9．抽样 86
10．测试方法 86
11．操作 86
12．合格证 86
13．包装和标志 86
附录硬面光掩模玻璃性能 86
SEMI P2— 86
4．订货资料 86
3．定义 86
SEMI P5— 86
2．有关文件 86
6．材料要求 86
4．订货资料 86
6．材料规范（仅指ULTE玻璃） 86
7．平正度区域（仅指一面） 86
3．定义 86
8．外观准则（仅指一面） 86
1．引言 86
9．抽样 86
10．试验方法 86
5．尺寸和允许偏差 86
11．操作 86
12．合格证 86
13．包装和标志 86
附录硬面光掩模玻璃性能 86
2．有关文件 86
3．薄膜规范（整个有效区） 88
4．缺陷极限 88
2．框架规范 88
SEMI P6— 88
1．范围 88
5．粘贴要求 88
1．范围 89
4．程序 89
SEMI P9— 89
2．有关文件 89
3．设备 89
SEMI P7— 89
3．对准标记的形状和尺寸指南 89
2．详细规范 89
1．一般要求 89
5．有关文件 90
4．优先次序 90
3．范围 90
6．定义 90
7．术语汇编 90
8．附录 90
SEMI P10— 90
4．订货资料 90
3．定义 90
1．范围 90
SEMI P3— 90
11．包装和标志 90
10．合格证 90
9．操作 90
8．抽样 90
7．缺陷 90
6．外观准则 90
5．材料要求 90
2．背景材料 90
2．有关文件 90
3．设备 90
4．程序 90
5．计算 90
SEMI P8— 90
2．有关文件 90
1．引言 90
1．目的 90