第一章 绪论 1
1.1 金刚石薄膜在硬质合金工具制备中的应用 1
1.1.1 金刚石材料在刀具制备中的应用 1
1.1.2 CVD金刚石薄膜在硬质合金刀具制备中的应用 2
1.1.3 CVD金刚石薄膜在拉拔模具制备中的应用 5
1.1.4 CVD金刚石薄膜在耐磨器件制备中的应用 6
1.2 本书总体思路 9
第二章 热丝CVD金刚石薄膜的制备原理及方法 10
2.1 金刚石薄膜制备原理 10
2.2 影响金刚石薄膜质量的各种主要因素 13
2.2.1 衬底材料 13
2.2.2 衬底预处理 14
2.2.3 衬底表面温度 15
2.2.4 碳源浓度 15
2.2.5 反应压力 16
2.3 热丝CVD微米金刚石薄膜制备及其性能表征 17
2.3.1 衬底预处理 17
2.3.2 碳源浓度对金刚石薄膜质量的影响 19
2.3.3 衬底表面温度对金刚石薄膜质量的影响 22
2.3.4 反应压力对金刚石薄膜质量的影响 24
2.4 热丝CVD纳米金刚石薄膜制备及其性能表征 26
2.4.1 制备方法 26
2.4.2 衬底预处理 27
2.4.3 Ar浓度对纳米金刚石薄膜质量的影响 28
2.4.4 衬底表面温度对纳米金刚石薄膜质量的影响 35
2.4.5 反应压力对纳米金刚石薄膜质量的影响 37
2.4.6 优化条件下纳米金刚石薄膜表面质量 38
2.5 热丝CVD金刚石薄膜的性能表征 41
2.5.1 薄膜附着力 41
2.5.2 薄膜成分 50
2.5.3 薄膜摩擦性能 51
2.5.4 薄膜其他性能 58
第三章 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀具的制备及应用 59
3.1 引言 59
3.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备及应用 60
3.2.1 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备装置 60
3.2.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的制备工艺及切削性能试验 61
3.2.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层刀片的应用 91
3.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备及应用 91
3.3.1 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备装置 91
3.3.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的制备工艺 94
3.3.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层大尺寸整体式硬质合金刀具的切削性能试验 99
3.4 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的制备及应用 111
3.4.1 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的制备 111
3.4.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层小尺寸整体式硬质合金刀具的应用 112
第四章 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备及应用 118
4.1 引言 118
4.2 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备装置 119
4.2.1 大孔径拉拔模具金刚石薄膜涂层制备装置 119
4.2.2 小孔径拉拔模具金刚石薄膜涂层制备装置 120
4.3 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备工艺 121
4.3.1 衬底预处理 121
4.3.2 沉积工艺 121
4.3.3 性能表征 121
4.3.4 后处理工艺 128
4.4 热丝CVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的应用 129
4.5 热丝CVD金刚石薄膜细长管的制备 132
4.5.1 衬底的选择 132
4.5.2 制备装置 133
4.5.3 圆柱体表面金刚石薄膜涂层的制备工艺及性能表征 134
4.5.4 衬底去除方法 144
4.5.5 金刚石管质量性能表征 145
4.6 热丝CVD金刚石薄膜细长管的应用 148
第五章 结论与展望 149
5.1 结论 149
5.2 展望 150
参考文献 151