1 绪论 1
1.1 什么是非晶态半导体 1
1.2 非晶态半导体研究的历史进程 6
1.3 本书的安排 10
参考文献 10
2 结构与分类 12
2.1 远程无序和近程有序 12
2.2 玻璃和非晶态 16
2.3 非晶态的分类 20
参考文献 25
3 结构分析和电子态 27
3.1 研究结构的实验手段和获得的结果 27
3.2 有关结构的理论模型 30
3.3 电子态密度——价带和导带 37
3.4 带隙与Weaive-Thorpe模型 40
3.5 拓朴学上的杂乱效应 42
3.6 局域电子及其有关性质 45
3.7 非晶态半导体的特殊问题 49
参考文献 52
4 结构缺陷与杂质 53
4.1 从化学键的观点看结构缺陷和杂质 58
4.2 有关缺陷的实验背景和Anderson假说 56
4.3 Street-Mott模型 58
4.4 基于简单化学键理论的缺陷模型 62
4.5 有关缺陷的最新理论 67
4.6 硅氢中的氢和氟的作用 68
4.7 杂质原子的结合方式及其作用 69
参考文献 75
5 非晶态半导体特性 77
5.1 光吸收 78
5.2 光致发光 85
5.3 光电导 92
5.4 弥散型传输 96
5.5 直流电导 99
5.6 交流电导 106
5.7 Hall效应 108
5.8 热电势 111
参考文献 113
6 硫系玻璃半导体的性质和制造 115
6.1 不可逆的结构变化 115
6.2 可逆的结构变化(光致结构变化) 118
参考文献 126
7 非晶硅氢的制备和它的性质 128
7.1 制备方法 128
7.2 生长过程中的等离子化学 131
7.3 簿膜生长过程的控制 137
7.4 硅氢及其特性 139
7.5 结构缺陷和带隙态 143
7.6 价电子的控制 148
参考文献 152
8 非晶态半导体的应用 154
8.1 电开关、存储器 156
8.2 光存储器 159
8.3 非晶传感器 163
8.4 摄像器 169
8.5 静电复印用的感光鼓 176
8.6 薄膜晶体管和集成电路 181
参考文献 189
9 太阳电池 191
9.1 单晶硅太阳电池与非晶硅太阳电池的比较 192
9.2 非晶硅太阳电池制造技术 202
9.3 进一步提高效率的途径 207
9.4 批量生产大面积低成本太阳电池的技术 222
9.5 太阳电池的稳定性 228
参考文献 232