《新型半导体薄膜材料的制备与光电特性》PDF下载

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  • 作  者:陈光华著
  • 出 版 社:兰州市:兰州大学出版社
  • 出版年份:2004
  • ISBN:7311023734
  • 页数:377 页
图书介绍:本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法,同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。

第一部分 非晶半导体理论研究 1

1-1 非晶固体形成能力的理论推导 3

1-2 a-Si1-xNx:H薄膜拉曼谱的理论研究 9

1-3 非晶半导体中杂质和缺陷态的电子统计理论 15

1-4 用模拟退火模型研究非晶硅的结构和振动性质 21

1-5 掺硼a-SiC:H膜中热诱导缺陷的产生过程 26

1-6 非晶Si和非晶Si基合金半导体的g因子计算 34

1-7 薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟 39

1-8 势阱中杂质薄层对双垒结构共振隧道的影响 44

第二部分 非晶硅基合金薄膜的制备及特性研究 50

2-1 SiH4和C2H4辉光放电法制备a-SixC1-x:H膜的光—电特性 51

2-2 GD a-SixC1-x:H膜中光电导的吸附和光诱导效应 59

2-3 a-SixC1-x:H膜的吸附和表面态研究 67

2-4 a-Si:H/a-SixC1-x:H多层膜的瞬态光电导 73

2-5 未掺杂a-Si:H/a-SixC1-x:H多层膜的瞬态光电导 80

2-6 GD a-Si:H/a-SixC1-x:H超晶格的光学性质 83

2-7 用逐次退火法研究a-Si:H/a-Ge:H多层膜的结构变化 86

2-8 a-GeNx和a-GeNx:H薄膜的制备及光电特性的研究 90

2-9 高温退火a-SiC:H膜光吸收边的影响 95

第三部分 非晶半导体薄膜缺陷态的研究 102

3-1 掺杂a-Si1-xCx:H和a-Si1-xNx:H膜的ESR和IR研究 103

3-2 由反应溅射法制备的B-掺杂a-Si:H膜的ESR研究 111

3-3 P,B-掺杂的a-Si1-xCx:H膜的高温ESR特性 117

3-4 a-Si1-xCx:H膜的LESR研究 121

3-5 氢化非晶锗碳薄膜中的自旋缺陷态 127

3-6 用核反应分析法测量掺杂a-SiC:H膜中的氢和硼浓度 133

第四部分 非晶硅碳薄膜材料的电子能谱 137

4-1 用XPS研究GD-a-SixC1-x膜中等离子体激元的特征 138

4-2 RS-a-SixC1-x:H合金膜的EELS研究 143

4-3 用电子能量损失谱研究GD-a-C:H膜的价电子特性 146

4-4 用UPS和EELS技术研究a-Si1-xCx:H膜的价电子特性 149

4-5 用EELS和UPS研究a-C:H膜的价电子行为 153

4-6 用紫外光电子能谱研究a-Si1-xCx:H的价带特性 157

第五部分 窄带隙材料和a-Si:H/a-SiGe:H叠层太阳电池的研究 163

5-1 RF-辉光放电法制备高光敏性a-SiGe:H膜 164

5-2 射频溅射法制备a-Si1-xSnx:H膜的结构特性 169

5-3 衬底温度对溅射a-Si1-xSnx:H合金膜结构的影响 177

5-4 反应溅射法制备的a-GeNx:H膜的IR和Raman谱 181

5-5 反应溅射法制备的a-GeNx:H膜退火行为的ESR研究 185

5-6 a-SiGex合金光学常数的研究 188

5-7 用核共振反应分析法研究a-Ge:H膜中氢浓度和分布 194

第六部分 非晶半导体膜的电致发光、纳米可见发光及场电子发射的研究 197

6-1 a-Si1-xCx:H/nin-p结构的注入电致发光 198

6-2 各种结构的a-Si1-xCx:H和a-Si:H器件的电致发光 201

6-3 nO/a-Si:H结构的注入电致发光 205

6-4 a-C:H膜的电致发光研究 208

6-5 a-C:H多层膜的电致发光 212

6-6 a-Si1-xCx:H/pn-结构的蓝—白电致发光 216

6-7 宽带隙薄膜材料场电子发射研究的背景、现状和问题 220

6-8 新型金刚石薄膜场电子发射的特性 226

第七部分 金刚石和类金刚石薄膜生长机理的研究 231

7-1 CVD-金刚石膜的表面能和形态 232

7-2 用原位光发射谱(OES)研究弧光放电法制备金刚石膜 238

7-3 直流弧光放电法合成金刚石膜的I-V特性 243

7-4 氢对金刚石膜和Zr,Hf衬底间过渡层的影响 248

7-5 在Si和W衬底上沉积金刚石膜的生长特性 254

7-6 用X-射线衍射谱研究金刚石薄膜结构 262

7-7 直流弧光放电CVD法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量 268

7-8 退火对a-C:H膜光学性质的影响 273

7-9 用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)法在(100)Si衬底上沉积织构金刚石膜 278

7-10 织构金刚薄膜的成核与生长 279

第八部分 高质量织构立方氮化硼(c-BN)薄膜的制备及织构特性研究 285

8-1 在Ni衬底上沉积高质量c-BN膜 286

8-2 在Ni衬底上c-BN的织构生长 291

8-3 c-BN薄膜的光学吸收边特性 295

8-4 立方氮化硼薄膜的织构生长 301

8-5 衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响 304

第九部分 全碳分子(C60,C70…)的合成和特性研究 310

9-1 C60/PMMA薄膜中C60的晶化和取向 311

9-2 C60薄膜的红外研究 316

9-3 氮掺杂的富勒烯的ESR特性 321

9-4 氮掺杂富勒烯薄膜电学性质的研究 329

9-5 硫掺杂C60薄膜电学性质研究 332

第十部分 高质量氮化碳(β-C3N4)薄膜的制备及特性研究 336

10-1 β-C3N4的制备及若干问题探讨 337

10-2 氮化碳薄膜的结构与特性 340

10-3 结晶β-C3N4薄膜的制备和特性研究 344

第十一部分 硫系非晶半导体薄膜的制备与特性 349

11-1 Ge对非晶硫系半导体低温跳跃电导率的影响 350

11-2 非晶态As40S60-xSex薄膜光黑化效应的研究 356

11-3 非晶态硫系化合物半导体的制备和电导特性的研究 361

第十二部分 微重力和超重力对InSb晶体生长的影响 364

12-1 微重力和超重力环境下生长的InSb晶体的电学特性 365

12-2 微重力环境下InSb晶体生长 370