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X光多层膜反射镜的损伤与破坏&淳于书泰 谷渝秋 尤永禄 黄文忠 何颍玲 马月英 裴舒 营健林 1
摘要 1
引言 3
1关于X光多层膜反射镜 4
2在XRL双程放大实验中X光多层膜反射镜的破坏 4
2.1国产Mo/SiX光多层膜反射镜的破坏阈值 6
2.2X光本底对X光多层膜反射结构的影响 7
2.3温度对X光多层膜反射镜结构的影响 9
3结束语 10
参考文献 11