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CJ—500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制&曾洪银（核工业西南物理研究院，乐山，614007） 1
摘要 1
引言 3
1镀膜机结构及特点 3
2主要技术参数 6
3运行结果与讨论 7
参考文献 8