第一篇 引言 1
第1章 基本概念 1
1.1 检测技术 1
1.2 检测技术的分类 1
1.3 检测技术的主要内容 4
第2章 技术评价 6
2.1 指标 6
2.2 功能指标 6
2.3 性能指标 8
2.4 物理指标 14
第二篇 传感器 15
第3章 电阻式传感器 15
3.1 应变式电阻传感器 15
3.2 热电阻传感器 25
第4章 电感式传感器 32
4.1 自感式传感器 32
4.2 线性可调差动变压器 37
4.3 电涡流传感器 41
第5章 电容式传感器 46
5.1 工作原理及类型 46
5.2 灵敏度及非线性分析 48
5.3 传感器特点 50
5.4 转换电路 51
第6章 电势式传感器 55
6.1 压电传感器 55
6.2 霍尔传感器 62
6.3 热电传感器 70
第7章 微波传感器 79
7.1 微波的有关概念 79
7.2 微波的特性 80
7.3 微波器件 80
7.4 微波半导体器件 81
7.5 微波传感器 82
7.6 微波多普勒测速雷达 83
7.7 煤中含水量的微波测量 85
7.8 射频识别技术 87
第8章 光电式传感器 91
8.1 光谱 91
8.2 光电效应 92
8.3 光电电阻 94
8.4 光电池 102
8.5 光电二极管和光电三极管 106
8.6 光电式传感器的应用 114
8.7 电荷耦合器件 116
8.8 光电位置敏感器件 121
第9章 核辐射式传感器 123
9.1 射线的性质 123
9.2 核辐射传感器 125
9.3 辐射的防护 129
第10章 声波式传感器 130
10.1 超声波传感器 130
10.2 声表面波传感器 138
第11章 光纤传感器 140
11.1 光纤的结构及传光原理 140
11.2 光纤调制技术与光纤传感器 148
11.3 光纤连接耦合技术 161
第12章 半导体传感器 165
12.1 半导体气敏传感器 165
12.2 半导体湿敏传感器 169
第13章 电化学气体传感器 173
13.1 主要特性 173
13.2 工作原理及类型 174
第14章 MEMS传感器 177
14.1 压阻式加速度计 177
14.2 电容式加速度计 178
14.3 静电力平衡式加速度计 178
14.4 石英振梁式加速度计 179
14.5 石英音叉振动陀螺仪 180
14.6 硅双框架式振动陀螺仪 180
14.7 硅梳状驱动振动陀螺仪 181
第三篇 参数测量 183
第15章 温度测量 183
15.1 概述 183
15.2 复合材料测温 185
15.3 金属热电阻 187
15.4 半导体热敏电阻 189
15.5 热电偶 190
15.6 辐射测温 197
附表 常见热电阻、热电偶分度表 207
第16章 压力测量 210
16.1 概述 210
16.2 重力式压力测量 215
16.3 弹性式压力测量 216
16.4 硅压力传感器 222
16.5 压电式压力计 223
第17章 流量测量 225
17.1 概述 225
17.2 节流式流量测量 225
17.3 转子流量计 233
17.4 靶式流量计 236
17.5 涡轮流量计 237
17.6 涡街流量计 240
17.7 电磁流量计 241
17.8 超声波流量计 242
17.9 容积式流量计 246
17.10 科里奥利质量流量计 248
17.11 标准体积管流量测量系统 252
第18章 物位测量 254
18.1 概述 254
18.2 浮力式液位计 255
18.3 静压式液位计 257
18.4 电容和射频导纳式液位计 259
18.5 回波式物位测量 263
18.6 核物位计 271
18.7 锅炉汽包水位测量 272
第四篇 相关问题 274
第19章 基本考虑 274
19.1 被测参数的选择 274
19.2 采样点的选择 274
19.3 传感器的选择 275
19.4 检测信号的处理 276
第20章 信号调理电路 285
20.1 测量电桥与转换电路 285
20.2 调制与解调 290
20.3 电压／电流／频率变换 292
20.4 电压和电流信号放大 294
20.5 MEMS传感器信号调理 297
思考题 301
索引 306
参考文献 308