第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望 1
第一节 发展精密和超精密加工技术的重要性 1
第二节 超精密加工技术的现状 5
第三节 超精密加工技术的发展展望 9
复习思考题 10
第二章 超精密切削与金刚石刀具 11
第一节 超精密切削的切削速度选择 11
第二节 超精密切削时刀具的磨损和寿命 12
第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律 14
第四节 切削参数变化对加工表面质量的影响 16
第五节 切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影响 19
第六节 金刚石刀具超精密切削中的若干理论问题 23
第七节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构 29
第八节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向 34
第九节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理 36
第十节 金刚石晶体的定向 38
第十一节 金刚石刀具的设计与制造 41
复习思考题 47
第三章 精密磨削和超精密磨削 49
第一节 概述 49
第二节 精密磨削 55
第三节 超硬磨料砂轮磨削 59
第四节 超精密磨削 66
第五节 精密和超精密砂带磨削 71
复习思考题 77
第四章 精密和超精密加工的机床设备 78
第一节 精密和超精密机床发展概况 78
第二节 典型超精密机床简介 81
第三节 精密机床主轴部件 88
第四节 机床的总体布局和床身导轨 93
第五节 进给驱动系统 99
第六节 微量进给装置 103
第七节 机床运动部件位移的在线检测系统 108
第八节 机床的稳定性和减振隔振 110
第九节 减少热变形和恒温控制 113
复习思考题 116
第五章 精密加工中的测量技术 118
第一节 精密加工中的测量技术概述 118
第二节 生产单位的长度基准和测量基准平台 121
第三节 直线度、平面度和垂直度的测量 123
第四节 角度的测量 126
第五节 圆度和回转精度的测量 129
第六节 激光测量 135
第七节 自由曲面的测量 139
复习思考题 141
第六章 在线检测与误差补偿技术 142
第一节 概述 142
第二节 在线检测与误差补偿方法 148
第三节 微位移技术 154
复习思考题 162
第七章 精密研磨与抛光 163
第一节 研磨 163
第二节 抛光 165
第三节 精密研磨与抛光的主要工艺因素 167
第四节 精密研磨抛光新技术 173
第五节 曲面研磨抛光技术 175
复习思考题 179
第八章 微细加工技术 180
第一节 微细加工技术的出现 180
第二节 微细加工的概念及其特点 181
第三节 微细加工机理 183
第四节 微细加工方法 185
复习思考题 209
第九章 纳米技术与3D打印技术 210
第一节 纳米技术概述 210
第二节 扫描探针显微测量技术 211
第三节 纳米级加工技术和原子操纵 215
第四节 微型机械、微机电系统及其制造技术 225
第五节 3D打印技术 233
复习思考题 237
第十章 精密和超精密加工的外部支撑环境 238
第一节 空气环境和热环境 238
第二节 振动环境 246
第三节 噪声环境 251
第四节 其他环境 254
第五节 精密和超精密加工的环境设施 256
复习思考题 257
参考文献 259