第1章 声表面波理论 1
1.1 绪论 1
1.2 声表面波理论 2
1.3 声表面波传感器理论基础 21
参考文献 26
第2章 声表面波压力传感器 28
2.1 绪论 28
2.2 SAW压力传感器的应用前景与国内外研究水平 28
2.3 SAW谐振式压力传感器的组成及工作机理 30
2.4 SAW压力传感器敏感膜片的力学模型 32
2.5 SAW谐振器理论分析与设计 49
2.6 SAW压力传感器信号检测与温度智能补偿 67
2.7 本章小结 88
参考文献 89
第3章 声表面波加速度传感器 91
3.1 绪论 91
3.2 悬臂梁的应力分析和传感原理 94
3.3 SAW加速度计模型 97
3.4 加速度传感器悬臂梁的几何尺寸设计 102
3.5 悬臂梁式SAW加速度计的信号特征及测量方案 103
3.6 介质阻尼对悬臂梁微机械系统的影响 107
3.7 悬臂梁式SAW加速度传感器系统设计 108
3.8 SAW加速度计的测量准确度 114
3.9 用浮动零点法消除温度对SAW加速度计测量准确度的影响 116
3.10 悬臂梁式加速度传感器信号处理技术 118
3.11 本章小结 122
参考文献 123
第4章 声表面波气体传感器 125
4.1 绪论 125
4.2 层状声表面波CO气体传感器理论 130
4.3 层状结构声表面波元件理论分析 149
4.4 掺杂In2O3聚苯胺CO气体敏感膜研究 165
4.5 SAW CO气体传感器制备 176
4.6 本章小结 179
参考文献 179
第5章 其他类型声表面波传感器以及声表面波传感器的温度补偿方法研究 184
5.1 绪论 184
5.2 声表面波角速度传感器 184
5.3 声表面波流量传感器 209
5.4 声表面波传感器温度补偿方法研究 212
5.5 本章小结 217
参考文献 218
第6章 声表面波传感器网络化及其应用 219
6.1 绪论 219
6.2 声表面波网络传感器研究 225
6.3 声表面波无线传感器网络节点研究 251
6.4 声表面波传感器网络化应用实例 280
6.5 本章小结 284
参考文献 284