Part G 工业应用 3
45.千足虫：基于原子力显微镜数据存储系统的纳米技术 3
45.1千足虫的概念 5
45.2热力学原子力显微镜的数据存储 6
45.3阵列设计、技术和制造 8
45.4阵列的特性 9
45.5三端悬臂的设计 11
45.6 x，y，z介质微型扫描仪 12
45.7首次32×32阵列芯片写/读结果 15
45.8聚合物介质 16
45.9读取信道模型 23
45.10系统特性 26
45.11结论 31
参考文献 32
46.纳米机器人 35
46.1纳米机器人概述 36
46.2纳米量级的驱动 37
46.3纳米机器人的操作系统 39
46.4纳米机器人的装配 44
46.5应用 53
参考文献 56
Part H 微/纳米器件的可靠性 65
47.微/纳机电系统和生物微/纳机电系统：材料、器件、仿生技术 65
47.1微/纳机电系统基础 66
47.2硅及相关材料的纳米摩擦学和纳米力学研究 85
47.3微/纳机电系统的润滑研究 93
47.4基于硅和多晶表面生物分子的摩擦学研究以及微纳米级颗粒治疗与诊断 100
47.5带有粗糙度诱导超疏水、自清洁、低附着的表面 110
47.6组件级研究 119
47.7结论 130
47.A微米-纳米制造技术 131
参考文献 135
48.微米-纳米机械中的摩擦和磨损 143
48.1从单粗糙到多粗糙摩擦 145
48.2纳米反应器概述 149
48.3结束语 157
参考文献 158
49.微/纳机电系统中的失效机制 163
49.1失效模式和失效机制 164
49.2静摩擦和充电相关的失效机制 165
49.3蔓延、疲劳、磨损及封装相关的失效 171
49.4结论 181
参考文献 181
50.微机械结构的机械特性 185
50.1薄膜基板的机械性能检测 185
50.2测量机械性能的微机械结构 187
50.3机械性能的检测系统 197
参考文献 201
51.微机械产品的大批量生产和市场稳定性 205
51.1背景 206
51.2制造策略 208
51.3强大的制造业 210
51.4稳定的市场特征 227
参考文献 230
52.微/纳米系统的封装和可靠性问题 237
52.1微机电系统封装简介 237
52.2密封和真空封装及应用 243
52.3散热问题和可靠性封装 253
52.4未来趋势和总结 260
参考文献 261
Part I 技术的融合和纳米技术的管理 269
53.纳米技术的管理：社会的、伦理的和人权的问题 269
53.1社会科学背景 269
53.2人类对纳米技术的影响 273
53.3纳米技术的调节 276
53.4纳米技术的文化背景 278
53.5结论 281
参考文献 282
主题索引 287