第一章 半导体温度敏感器件 1
1.1半导体温敏器件的物理基础 1
1.2硅温度敏感器件 9
1.3碳化硅pn结温度敏感器件 12
1.4晶体管温度敏感器件 17
1.5集成电路温度敏感器件 21
1.6其它类型温度敏感器件 27
参考文献 30
第二章 半导体磁敏器件 31
2.1半导体磁敏器件基础理论 31
2.2MOS磁敏集成电路 35
2.3磁敏二构管 46
2.4磁敏晶体管 51
2.5霍尔开关集成电路 55
2.6砷化镓材料霍尔器件 58
参考文献 61
第三章 半导体压力敏感器件 62
3.1半导体压力敏感器件的物理基础 62
3.2压力敏感器件的设计 76
3.3加速度敏感器件 89
3.4集成电路压力敏感器件 97
3.5结型场效应力敏器件（4） 102
参考文献 104
第四章 半导体光（色）敏器件 105
4.1光敏器件的基础现论 106
4.2半导体色敏器件 111
4.3非晶硅光敏器件（1） 117
4.4太阳电池 125
参考文献 141
第五章 半导体湿敏器件 143
5.1半导体湿敏器件的基本理论 143
5.2二极管湿敏器件 151
5.3MOSFET湿度敏感器件 153
5.4集成化SIO2湿敏器件 157
5.5Mgcr2O4-Tio2半导体湿敏器件 159
5.6多功能（Mn3O4-Tio2）湿度-温度敏感器件 164
5.7其它类型湿度敏感器件 165
参考文献 169
第六章 离子敏感器件 170
6.1离子敏感场效应晶体管的基础理论 170
6.2ISFET的工作原理 172
6.3ISFET的设计与制作 192
6.4集成化ISFET的设计与制作 210
参考文献 214
第七章 半导体气敏器件 215
7.1半导体气敏器件的原理 215
7.2氧化锡气敏器件 221
7.3Fe2o3系气敏器件 228
7.4半导体二极管气敏器件 229
7.5集成化半导体气敏器件 231
参考文献 241
第八章 半导体感敏器件信号加工 242
8.1运算放大器 242
8.2仪器放大器 247
8.3可编程增益放大器 250
8.4敏感器件接口电路的抗干扰措施 266
8.5有源滤波器 271
8.6输入误差和标定 287
8.7函数拟合与线性化 288
8.8信号的压缩与扩展 291
参考文献 296
第九章 敏感器件的接口电路 297
9.1脉冲信号的输入 297
9.2数字传送与接口 302
参考文献 320
第十章 敏感器的输出信号计算机处理 321
10.1信号的非线性处理 321
10.2信号的温度补偿 327
10.3数字滤波器 332
10.4信号的导出量 337
参考文献 346
第十一章 敏感器件在微型机系统中的应用 347
11.1应用系统的设计 347
11.2光电敏感器件在微型机系统中的应用 348
11.3温度敏感器件在微型机系统中的应用 350
11.4气体敏感器件在微型机系统中的应用 358
11.5位移敏感器件在微型机系统中的应用 360
参考文献 365