目 录 1
第一部分概 述 1
第一章电镜工作者须知 1
安装电子显微镜的基本技术要求 1
电子显微镜的管理和维护 3
电子显微镜的X射线泄漏及其防护 5
第二章电镜检修概述 10
电镜故障类别及检修步骤 10
透视电镜主要故障的排除 14
国产DXA4-10透射式电镜故障排除 18
扫描电镜常见故障及检修 20
扫描回路故障及检修 22
第二部分透射电镜故障及对策 25
第一章真空系统 25
第一节机械泵 25
第二节扩散泵 30
第三节镜筒与管道 34
第四节密封阀与真空规 41
第二章 电子光路 53
第一节电子枪与聚光镜部分 53
第二节光路污染 58
第三节照相机构 62
第一节高压电缆 69
第三章高压与灯丝 69
第二节高压油箱 78
第三节灯丝电源 82
第四节高压电源 87
第五节高压控制 107
第四章透镜电源 111
第一节聚光镜电源 111
第二节物镜电源 117
第三节中间镜和投影镜 126
第五章电源 130
第一节主电源 130
第二节照相部分电源 140
第三节辅助电源 145
第六章其它 154
第一节冷却水系统 154
第二节其它 159
第三部分描扫电镜故障及对策 165
第一章真空系统 165
第二章电子光路 179
第三章高压系统和灯丝电路 188
第一节高压系统 188
第二节灯丝电路 204
第一节扫描信号发生电路 213
第四章扫描信号及观察系统 213
第二节图象放大电路 229
第三节图象显示电路 233
第四节图象控制电路 240
第五节二次电子检出部分 243
第六节10kv高压部分 248
第七节干扰 256
第五章X射线元素分析 260
第一节X射线波谱分析 260
第二节X射线能谱分析 266
第一节直流电源 270
第六章其它 270
第二节照相及字符显示 274
第三节其它 278
第四部分综合讨论 281
第一章真空系统 281
机械泵声音异常与故障 281
如何防止扩散泵油的挥发和碳化 283
扩散泵油的性能及使用时应注意事项 285
真空防漏 286
高真空补漏剂 287
第二章 电子光学系统 289
如何从束流变化判断故障成因 289
如何从成象质量来判断故障 290
如何排除光路中纤维样污染物 291
防尘 293
光拦的修理和清洗 294
如何延长灯丝工作寿命 296
灯丝的非正常断裂 298
电镜荧光屏幕的制作 299
老化荧光屏幕的翻新 302
电镜放大倍数误差的形成及校准 306
电镜分辨本领的测定 310
高压打火的部位、成因及对策 312
第三章电气系统 312
高压电缆芯线间击穿 314
高压电缆击穿检修概述 315
高压电缆击穿机理 317
高压电缆的维护 319
稳定电路的检测和维修要点 321
集成电路维修 323
附：部分常用集成电路国内外型号对照表 328
标准电池漏电成因、判定及对策 330
接触电阻的危害、成因及防范 331
高压油真空过滤装置 333
高压油使用维护的基本知识 335