第1章 绪论 1
1.1 现代信息社会中的传感器 1
1.2 传感器的重要性 4
1.3 传感器及传感技术概述 5
1.3.1 传感器的基本概念 5
1.4 传感器的内涵、分类及常用指标 7
1.4.1 传感器的内涵 7
1.4.2 传感器的分类 8
1.4.3 传感器的常用指标 8
1.5 传感器的构成类型和发展趋势 10
1.5.1 传感器的构成类型 10
1.5.2 传感器的发展趋势 13
1.6 典型传感器及其应用 15
1.6.1 传感器在安全监控、遥感遥测及军事方面的应用 15
1.6.2 传感器在毒气泄漏、废气排放等方面的应用 15
1.6.3 传感器在医疗卫生等方面的应用 16
1.6.4 传感器在工业生产和自动化控制方面的应用 17
1.6.5 传感器在楼宇控制、安防及智能家居方面的应用 17
第2章 夜晚中的“千里眼”——红外传感器 19
2.1 从人眼说起 19
2.1.1 红外辐射 20
2.1.2 红外传感器的优点 22
2.2 红外传感器的研究历史 23
2.3 红外传感器的分类及特点 24
2.3.1 光子探测器的技术特点 25
2.3.2 热探测器的技术特点 25
2.4 典型的红外传感器 26
2.4.1 非制冷红外夜视仪 26
2.4.2 热释电材料非制冷红外探测器的研究历史 27
2.4.3 氧化钒材料非制冷红外探测器的研究历史 27
2.4.4 非晶硅材料非制冷红外探测器的研究历史 27
2.4.5 非制冷红外传感器的研究历程 28
2.4.6 非制冷红外传感器技术发展状况 29
2.4.7 非制冷红外传感器的发展趋势 32
2.5 红外传感器的应用 33
第3章 气体探测的排头兵——气体传感器 41
3.1 生活中的传感器 41
3.2 气体传感器研究历史 43
3.3 气体传感器的内涵、分类及基本特征参数 46
3.3.1 气体传感器的内涵 46
3.3.2 气体传感器的分类 47
3.3.3 气体传感器的基本特征参数 52
3.4 气体传感器的应用 53
第4章 奇妙的微纳传感器 59
4.1 MEMS工艺与微纳传感器 59
4.2 MEMS技术的发展历史 61
4.3 微纳传感器的特点 63
4.4 微纳传感器的典型应用 65
4.5 微纳传感器中的MEMS技术 73
第5章 生物传感器 78
5.1 生活中的生物传感器 78
5.2 生物传感器的研究历史 79
5.3 生物传感器内涵、原理、分类及特点 81
5.4 生物传感器的固定 83
5.4.1 夹心法 84
5.4.2 吸附法 84
5.4.3 包埋法 85
5.4.4 共价连接法 85
5.4.5 交联法 86
5.4.6 旋涂法 87
5.4.7 气喷法 87
5.5 典型的生物传感器及其应用 87
5.5.1 酶电极生物传感器 88
5.5.2 石墨烯生物传感器 90
5.5.3 酶FET生物传感器 91
5.5.4 悬臂梁型生物传感器 92
5.5.5 基于生物传感器穿戴产品 92
第6章 物联天下——智能传感器 94
6.1 从物联网谈起 94
6.2 智能传感器内涵 98
6.2.1 智能传感器的概念 98
6.2.2 智能传感器的特点 98
6.3 智能传感器的构成形式 100
6.3.1 非集成化 100
6.3.2 集成化 100
6.3.3 混合实现 102
6.4 典型实例及应用 103
主要参考文献 111