第1章 概论 1
1.1真空装置 1
1.2真空装置的特点 1
1.3真空装置的分类 2
1.4真空装置的组成 4
1.4.1真空容器（真空室） 4
1.4.2真空泵 5
1.4.3抽气机组 5
1.4.4真空测量 5
1.5真空装置典型实例 6
第2章 真空装置容器 14
2.1概述 14
2.2真空室的门 15
2.3真空室的冷却 16
2.4真空室的观察窗 17
2.4.1观察窗基本类型 18
2.4.2观察窗设计要点 20
2.4.3真空设备常用观察窗标准 21
2.5真空室的电极引入 22
2.5.1电极引入部件密封设计要求 22
2.5.2电极的结构形式 23
2.5.3部标陶瓷金属封接电极（SJ 1775—81） 29
2.5.4国产陶瓷-金属封接电极 30
2.6真空室强度计算 31
2.6.1真空室强度计算一般知识 31
2.6.2真空室壳体设计 34
2.6.3圆筒体加强圈的设计 50
2.6.4封头强度计算 55
2.6.5开孔加强设计 63
2.6.6法兰及管道设计 70
第3章 真空装置抽气系统 77
3.1真空装置抽气系统基本参数 77
3.1.1极限压力 77
3.1.2工作压力 78
3.1.3有效抽速 79
3.1.4抽气时间 81
3.2真空系统设计 86
3.2.1选泵及配泵 86
3.2.2真空系统设计计算实例 89
3.3低真空抽气机组设计 94
3.3.1低真空机组的特点 94
3.3.2除尘器 94
3.3.3低真空机组典型实例 96
3.4高真空系统及抽气机组 98
3.4.1高真空系统特点 98
3.4.2储气罐预抽泵设计 99
3.4.3高真空机组主要形式 100
3.5超高真空系统及抽气机组 105
3.5.1超高真空系统特点 105
3.5.2超高真空系统设计要点 105
3.5.3超高真空抽气机组 107
3.5.4兰州物理研究所对超高真空系统的研究 112
3.6极高真空系统 113
3.6.1概述 113
3.6.2极高真空系统设备研究 114
3.6.3极高真空系统运转规范 116
3.6.4试验结果与讨论 117
第4章 真空泵 119
4.1概述 119
4.1.1真空泵的分类 119
4.1.2真空泵的技术术语、用途和使用范围 120
4.1.3真空泵的型号及规格表示法 122
4.2往复式真空泵 124
4.2.1概述 124
4.2.2工作原理 124
4.2.3结构特点 125
4.2.4主要性能参数 126
4.2.5国家规定的往复泵型式与基本参数（摘自JB/T 7675—95） 131
4.2.6往复泵的使用与维护 131
4.3液环式真空泵 132
4.3.1概述 132
4.3.2工作原理 133
4.3.3液环泵的基本类型与结构 134
4.3.4液环泵的基本参数 135
4.3.5液环泵型式与基本参数（摘自GB/T 7255—94） 137
4.3.6液环泵使用与维护 137
4.4油封式旋转机械真空泵 138
4.4.1概述 138
4.4.2工作原理 139
4.4.3结构特点 141
4.4.4性能参数 145
4.4.5型号与基本参数（摘自JB/T 6533—97、 JB/T 1246—97） 149
4.4.6泵的运行和维护 150
4.5罗茨式真空泵 153
4.5.1概述 153
4.5.2工作原理 154
4.5.3结构特点 155
4.5.4罗茨泵的主要性能参数 157
4.5.5 ZJ型罗茨泵的基本参数（摘自ZB/T 7674—95） 160
4.5.6罗茨泵的使用与维护 161
4.6涡轮分子泵 162
4.6.1概述 162
4.6.2涡轮分子泵的工作原理 163
4.6.3涡轮分子泵基本结构组成及特点 166
4.6.4涡轮分子泵工作特性 167
4.6.5涡轮分子泵基本参数（摘自JB/T 9125—1999） 168
4.6.6涡轮分子泵的使用 169
4.7油扩散喷射真空泵 170
4.7.1概述 170
4.7.2结构原理 171
4.7.3油扩散喷射真空泵的抽气特性 172
4.7.4油扩散喷射真空泵的设计计算 173
4.7.5国产Z型系列及WZ系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸 178
4.7.6油扩散喷射泵的运转 183
4.7.7油扩散喷射泵的使用与维护 186
4.8油扩散泵 187
4.8.1概述 187
4.8.2油扩散泵的工作原理 188
4.8.3油扩散泵的结构形式和特点 189
4.8.4油扩散泵的性能参数 193
4.8.5用油扩散泵获得超高真空的方法 197
4.8.6油扩散泵的使用与维护 198
4.9低温泵 200
4.9.1概述 200
4.9.2低温泵的抽气原理和分类 200
4.9.3低温泵的性能参数 202
4.9.4现代低温泵的结构及设计 208
4.9.5低温泵的选型方法 215
4.10溅射离子泵 216
4.10.1概述 216
4.10.2溅射离子泵的基本结构和工作原理 217
4.10.3溅射离子泵的改进 219
4.10.4溅射离子泵的工作特性 221
4.10.5溅射离子泵的使用维护 223
4.11钛泵 224
4.11.1概述 224
4.11.2钛升华泵工作原理 225
4.11.3钛升华器的结构 226
4.11.4电离升华泵 228
4.11.5钛泵的使用和维护 230
第5章 真空阀门 231
5.1概述 231
5.2真空阀门的设计与计算要点 236
5.2.1对真空阀门的基本要求 236
5.2.2真空阀门的设计步骤 237
5.2.3真空阀门的密封 237
5.2.4真空阀门压紧装置及设计计算 242
5.2.5阀盖传动机构 244
5.3真空装置常用的真空阀门 249
5.3.1真空插板阀 249
5.3.2高真空挡板阀 254
5.3.3高真空蝶阀 261
5.3.4电磁真空阀 270
5.3.5真空隔膜阀 279
5.3.6真空微调阀 286
5.3.7真空放气阀 288
5.3.8玻璃真空活塞 293
5.3.9典型各类真空阀门结构形式 299
第6章 真空装置自动控制 308
6.1概述 308
6.1.1真空装置控制 308
6.1.2真空自动控制系统的分类 308
6.1.3自动控制系统的性能指标 309
6.1.4自动控制系统的分析方法 310
6.2自动控制元件及装置 311
6.2.1真空继电器 311
6.2.2真空计 312
6.3真空装置自动控制系统 315
6.3.1概述 315
6.3.2继电器控制系统 315
6.3.3压力控制仪控制系统 316
6.3.4可编程控制器控制系统 318
6.3.5计算机控制系统 321
第7章 真空装置中的常用制造工艺 325
7.1真空装置的清洗处理 325
7.1.1概述 325
7.1.2真空装置元件的清洗方法 326
7.1.3清洗的基本程序 333
7.1.4非金属材料的清洗 334
7.2真空装置材料的除气 335
7.2.1材料除气的基本方法 335
7.2.2玻璃及陶瓷材料的除气 339
7.2.3金属材料的除气 341
7.2.4电真空器件的除气 343
7.2.5超高真空装置的烘烤除气 344
7.2.6烘烤除气装置 346
7.3真空装置常用的焊接技术 346
7.3.1真空装置对焊接工艺的要求 346
7.3.2真空焊接的分类 346
7.3.3氩弧焊 347
7.3.4电子束焊 353
7.3.5真空钎焊 355
7.3.6真空扩散焊接 362
7.4真空装置金属——陶瓷封接技术 364
7.4.1陶瓷-金属封接材料 364
7.4.2陶瓷-金属封接形式 365
7.4.3陶瓷金属化封接 365
7.4.4真空直接钎焊封接 366
7.4.5金属-陶瓷钎焊应用实例 368
参考文献 369