《极高真空技术》PDF下载

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出版社：
出版年份：1981
ISBN：
页数：75 页

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一、极高真空技术与极高真空物理的发展 1

二、真空测量研究的动向 10

三、材料出气 27

四、清洁真空技术 34

五、薄膜技术简介 48