点击购买此书全本PDF电子书
目录 1
1、超精密加工机床的结构 1
2、超精密加工机床的驱动方式 17
3、使用压电执行元件的微量定位 28
4、超精密加工用的静压轴承（主轴） 48
5、超精密加工用的导轨机构 65
6、超精密切削加工的金刚石刀具 82
7、超精密加工机床的环境温度的控制 98
8、超精密加工环境的设计—基础部分 111
9、超精密加工环境的设计—应用部分 135