第一章 真空技术的基本知识 1
第一节 真空的基本概念和发展历史 1
第二节 气体分子运动论 5
第三节 平均自由程 6
第四节 流态 6
第五节 气体的热导率 7
第六节 真空测量单位 8
第七节 气体的宏观性质 9
第八节 气体定律 9
第九节 抽气 11
第二章 真空测量 15
第一节 概述 15
第二节 真空计 18
第三章 真空泵 29
第一节 概述 29
第二节 常用真空泵 34
第三节 真空泵的抽气参数 61
第四章 真空系统 64
第一节 真空系统的组成 64
第二节 真空机组 65
第三节 真空阀门 70
第四节 捕集器 82
第五节 真空密封 88
第六节 真空系统设计的注意点 103
第七节 真空系统的安全防护 105
第五章 真空检漏 109
第一节 检漏的基本概念 109
第二节 漏气的形式及漏孔和漏率 110
第三节 检漏仪器 113
第四节 示踪气体 118
第五节 检漏方法 120
第六节 检漏方法的选择及对检漏人员的要求 125
第六章 建筑玻璃镀膜生产线 127
第一节 概述 127
第二节 玻璃镀膜生产线的结构类型 128
第三节 磁控溅射镀膜的原理 129
第四节 玻璃镀膜生产线 130
第五节 玻璃镀膜生产线C1室的设计及参数计算方法 140
参考文献 147