1 绪论 1
1.1 微电子器件的传统设计方法 1
1.2 计算机辅助设计技术 2
1.3 设计自动化 3
2 双极型晶体管的设计 5
2.1 双极型晶体管设计理论 5
2.1.1 pn结基本理论 5
2.1.2 双极型晶体管的图形结构和制造工艺 8
2.1.3 双极型晶体管的特性参数 11
2.2 双极型晶体管的设计 17
2.2.1 双极型晶体管的设计原则和设计过程 17
2.2.2 纵向结构参数的设计 19
2.2.3 横向结构参数的设计 21
2.2.4 热学设计 22
2.3 集成电路中双极晶体管的设计 23
2.3.1 集成电路中的双极型晶体管 23
2.3.2 集成电路中双极型晶体管的一般设计考虑 25
2.3.3 集成电路常用双极型晶体管的设计 26
2.4 集成电路中双极型晶体管设计实例 30
2.4.1 纵向结构参数的选取 31
2.4.2 横向结构参数的选取 32
3 MOS晶体管的设计 34
3.1 MOS晶体管设计理论 34
3.1.1 MOS晶体管的工作原理和图形结构 34
3.1.2 MOS晶体管的制造工艺 36
3.1.3 MOS晶体管的特性参数 37
3.1.4 MOS晶体管的开关响应和功率特性 44
3.2 MOS晶体管设计 45
3.2.1 纵向结构参数的选取 45
3.2.2 栅金属覆盖层的选取 46
3.2.3 横向结构参数的选取 47
3.3 集成电路中MOS晶体管的设计 48
3.3.1 集成电路中的MOS晶体管 48
3.3.2 集成电路中MOS管的一般设计考虑 51
3.3.3 CMOS倒相器中MOS管宽长比的设计计算方法 51
3.4 CMOS集成电路中MOS管设计实例 52
3.4.1 设计问题和目标参数 52
3.4.2 器件参数的计算 53
4 集成电路CAD技术基础 55
4.1 计算机辅助电路分析 56
4.1.1 SPICE—Ⅱ软件的能力 56
4.1.2 输入文件的语句格式 58
4.1.3 输入源程序的书写 69
4.1.4 值得注意的问题 72
4.2 计算机辅助工艺分析 73
4.2.1 SUPREM—Ⅱ的输入语句格式 73
4.2.2 输入源程序的书写 82
4.2.3 应注意的问题 85
5 数字集成电路设计 86
5.1 数字集成电路设计理论 86
5.1.1 电路的速度特性 86
5.1.2 双极晶体管集成电路工艺和版图设计理论基础 87
5.1.3 MOS数字集成电路工艺和版图设计理论基础 89
5.1.4 版图布局 94
5.1.5 版图布线 96
5.1.6 辅助图形设计 97
5.2 数字集成电路设计实践 99
5.2.1 设计问题和目标参数 99
5.2.2 逻辑设计 99
5.2.3 逻辑模拟 99
5.2.4 工艺设计 101
5.2.5 工艺模拟 104
5.2.6 电路单元选择及参数计算 113
5.2.7 版图设计 118
5.2.8 分布参数的提取和验算 121
6 模拟集成电路设计 129
6.1 模拟集成电路设计理论 129
6.1.1 双极模拟集成电路设计理论 129
6.1.2 MOS模拟集成电路设计理论 133
6.2 模拟集成电路设计实践 138
6.2.1 设计问题和目标参数 138
6.2.2 单元电路设计和器件参数计算 140
6.2.3 工艺设计 148
6.2.4 版图设计 153
6.2.5 验算 155
附录一 159
附录二 162
附录三 163
参考文献 165