第一章 电子光学基础 1
第一节 电子束流的特点 1
第二节 电子在电磁场中的运动和电磁透镜 2
第三节 电磁透镜的象差、分辨本领、景深和焦长 4
1.电磁透镜的象差 4
2.电磁透镜的分辨本领 6
3.电磁透镜的景深和焦长 6
第四节 电子显微镜与光学显微镜比较 8
第二章 电子束和物质之间的相互作用 9
第一节 几种物理信息 9
1.几种电子信息 9
2.几种x射线信息 11
3.俄歇电子 12
4.阴极荧光 12
5.电子束感生电效应 12
第二节 不同物理信息产生的空间位置 13
1.几种物理信息产生的空间位置 13
2.各种物理信息的空间变化 14
第三章 扫描电子显微分析 15
第一节 扫描电子显微镜的结构 15
1.电子光学系统 16
2.信号检测放大系统 18
3.图象显示和记录系统 19
4.真空系统 19
5.电源系统 19
第二节 扫描电子显微镜成象原理 19
1.成象原理 19
2.分辨本领 19
3.放大倍数及有效放大倍数 20
4.景深和焦长 21
第三节 扫描电子显微镜的图象 21
1.二次电子检测和二次电子象 21
2.背散射电子检测和背散射电子象 23
3.吸收电流检测和吸收电子象 25
4.电子通道花样图 26
第四节 扫描电子显微镜的样品制备 28
第五节 仪器性能指标及验收标准 28
第四章 电子探针x射线显微分析(电子探针分析) 30
第一节 电子探针的基本性能特点 30
1.电子探针x射线波长分散谱仪性能 30
2.电子探针x射线能量分散谱仪性能 30
第二节 特征x射线的产生 31
1.原子结构 31
2.K系、L系、M系特征x射线产生 32
3.特征x射线与元素分析 32
第三节 x射线波长分散谱仪工作原理 37
1.布拉格方程 37
2.分光晶体 42
3.直进式x射线波长色散谱仪 43
4.探测器 43
第四节 x射线能量分散谱仪的工作原理 49
1.x射线能量分散谱仪 49
2.锂漂移硅探测器—Si(Li) 50
3.能谱仪与波谱仪特点对比 51
第五节 电子探针仪的基本构造和功能 53
1.电子探针仪的基本构造 53
2.电子探针仪的基本功能 54
3.电子探针分析与化学分析对比 56
4.电子探针与扫描电镜带探针的差异 57
第六节 电子探针仪的性能指标及验收准标 57
1.波谱仪性能及验收标准 57
2.能谱仪性能及验收标准 59
第五章 电子探针定量分析原理 61
第一节 标样的选择以及试样和标样制备加工 61
1.电子探针标样的选择 61
2.标样和试样的制备加工 63
第二节 精确测定x射线强度比(K值) 63
1.关于仪器性能 63
2.有关标样选择以及标样和试样制备加工 63
3.操作测试技术 64
4.数据的合理处理 65
第三节 定量分析修正计算 66
1.基质校正 66
2.定量修正计算方法简介 68
3.定量修正计算实例 73
第六章 透射电子显微分析 76
第一节 透射电子显微镜的结构 76
1.电子光学系统(镜体) 76
2.真空系统 80
3.电器系统 81
第二节 透射电子显微镜的性能指标 81
1.分辨本领(分辨率) 81
2.放大倍率 82
3.加速电压 82
4.相机长度 82
第三节 透射电子显微图象原理 82
1.电子的散射 83
2.散射(质量—厚度)衬度的形成 83
3.散射(质量—厚度)衬度图象分析基础 84
4.相位衬度 85
5.电子衍射 86
6.衍射衬度 87
第四节 样品的制备方法简介 88
1.对样品的一般要求 88
2.样品的主要制备方法 88
第五节 透射电子显微镜与扫描电子显微镜基本特点对比 91
第六节 透射电子显微镜与x射线分析在晶体结构分析中的特点对比 92
第七节 透射电镜验收标准 93
第七章 地质学中的电子显微形貌分析 96
第一节 矿物学中的电子显微形貌分析 96
1.矿物的晶体微观特征 96
2.晶体生长和晶面花纹 96
3.晶体的连生和双晶 97
4.矿物的集合体形态 97
5.造岩矿物 97
6.金属矿物 98
7.矿物的交代蚀变 98
8.胶态矿物微形貌 98
9.矿物的解理、断口、裂开 98
第二节 地质学中的电子显微形貌分析 98
1.岩石学中的电子显微形貌分析 98
2.地史古生物研究 98
3.微细地质构造研究 99
4.石油、煤田地质微形貌研究 99
5.水文工程、探矿工程学科中的应用 99
第三节 电子显微形貌分析在其他学科中应用简介 99
1.生物学中的应用 99
2.医学中的应用 99
3.食品和卫生 99
4.材料科学 99
第八章 地质学中的电子显微成分分析 100
第一节 矿物学中的电子探针显微分析 100
1.细小矿物的元素定量分析和新矿物分析 100
2.矿物的环带构造 100
3.固溶体和固溶体离溶 101
4.矿物的反应边构造 101
5.暗化边矿物 101
6.交代蚀变矿物 101
7.矿物包裹体的研究 102
8.陨石、月球矿物、宇宙尘的研究 102
第二节 地质学中的电子显微成分分析 102
1.岩石的成分分析 102
2.元素赋存状态的研究 103
3.矿床学研究 103
4.其他地质学科中电子显微成分分析 104
第三节 常见硅酸盐矿物化学成分 105
1.岛状结构硅酸盐 106
2.链状结构硅酸盐 113
3.层状结构硅酸盐 121
4.架状结构硅酸盐 126
主要参考文献 131
第七章附图 133
第八章附图 153