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《真空科学与技术丛书 真空镀膜》PDF下载
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作 者：李云奇编著
出 版 社：北京：化学工业出版社
出版年份：2012
ISBN：9787122127808
页数：310 页
图书介绍：本书共十一章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。
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