第1章 绪论 2
一、表面处理的意义 2
二、表面处理的应用 3
三、表面处理的分类 11
四、技术选用考量因素 15
五、结语 17
第2章 基本设备 22
一、温度的量测 22
二、真空系统 37
第3章 认识电浆 60
一、电浆的产生 60
二、电浆的特性 70
三、电浆的化学反应 75
四、电浆在表面技术上的应用 76
第4章 物理蒸镀 86
一、热力学 86
二、气体动力学 89
三、蒸镀 94
四、蒸镀设备 100
五、合金蒸镀 111
六、化合物蒸镀 114
七、应用 119
第5章 溅射镀膜 130
一、前言 130
二、粒子的撞击 132
三、动能的转移 133
四、撞击效应 134
五、溅射的方法 136
六、溅射系数 137
七、溅射镀膜技术 141
八、靶材 152
九、溅镀和热蒸镀的比较 154
十、应用 155
第6章 化学气相蒸镀 162
一、前言 162
二、化学问题 164
三、热力学的问题 170
四、化学动力学的问题 173
五、CVD设备及系统 179
六、应用 195
第7章 液相表面处理 206
一、前言 206
二、前处理 207
三、无极电镀 212
四、取代反应 221
五、化成被覆 222
六、电镀 225
七、阳极处理 254
八、电铸 260
九、废水处理 262
十、结语 264
第8章 薄膜的成长及微结构 270
一、前言 270
二、表面前清理 271
三、薄膜的成长 274
四、微结构 286
五、磊晶 291
第9章 薄膜特性及量测 298
一、前言 298
二、厚度 298
三、薄膜特性 304
四、表面分析仪器 311
五、其他表面分析仪器 322
第10章 表面蚀刻及微机电系统 330
一、图样化及蚀刻 330
二、微机电系统 340
三、矽制程 343
第11章 奈米技术 370
一、奈米材料 370
二、奈米科技发展史 371
三、奈米合成和表面技术 374
四、奈米材料之特徵 380
五、奈米科技之应用 388
六、结语 402
第12章 表面的物理化学性质 406
一、前言 406
二、表面张力 407
三、电湿 414
四、L-B薄膜 421
附录 429
中英名词对照 433
索引 441