目录 1
第一章 概述 1
一、表面光洁度的基本概念 3
二、表面光洁度的作用 4
三、表面光洁度的评定和分级 5
第二章 光切显微镜的构造原理 13
一、光切显微镜的原理 14
1．光切法原理 14
2．光切显微镜原理 15
3．光切显微镜的测量原理 17
二、光切显微镜的光学系统 18
1．光切显微镜的光学原理 18
2．光切显微镜的测量范围 21
4．物镜的放大率 24
3．物镜的光学简长为∞的意义 24
5．狭缝弯曲的作用 26
6．仪器测量误差的估算 27
三、光切显微镜的结构 32
1．测微目镜 35
2．壳体 35
3．显微镜升降微动机构 35
4．工作台 37
第三章 光切显微镜的使用 40
一、操作方法 40
1．操作步序 40
2．目镜视场中狭缝、十字线、工作台、工件表面之间相互关系 42
3．XSG型光切显微镜操作方法 44
二、物镜放大率的选择和确定 46
1．物镜放大率的选择 46
2．物镜放大率的确定 46
3．仪器常数C值的确定 48
三、测量和计算 49
1．用表征参数Rz评定表面光洁度 49
2．用图表方法测量表面光洁度 51
3．用表征参数Rz评定表面光洁度 52
四、照相方法测量表面光洁度 54
1．照相操作方法 55
2．照相放大率M的确定 55
3．曝光时间 55
4．用表征参数Rz测量表面光洁度 56
5．用表征参数Ra测量表面光洁度 57
五、印模方法测量表面光洁度 58
六、几种特殊使用方法 60
1．圆柱、圆锥和球形表面光洁度测量 60
2．槽宽测量 61
3．高度测量 62
4．薄膜厚度测量 63
5．小工件角度测量 64
第四章 光切显微镜的检修与维护 66
一、装校的大致步序和方法 66
1．照明系统校正 66
2．成象系统校正 67
3．照相反射镜校正 67
4．目镜分划板轴向位置、照相物镜校正 69
5．校正物镜组 69
二、主要检定项目和修理方法 71
三、其他故障修理方法 76
四、仪器的维护与保养 78
第五章 干涉显微镜的构造原理 79
一、干涉条纹是怎样产生的 79
1．光波的干涉现象 79
2．双光束干涉显微镜的产生 83
3．干涉显微镜的原理 86
4．干涉显微镜中的瞳窗和条纹的产生 88
二、干涉条纹的定位 91
1．定位面的确定 92
2．在仪器上的定位面 94
三、干涉条纹的宽度与方向 95
1．条纹宽度和转动角度的关系 96
2．条纹的方向 98
四、干涉条纹的颜色 99
1．彩色的由来 99
2．在仪器中的干涉条纹的颜色 100
五、干涉条纹的对比 101
1．两束相干光的强度对对比的影响 101
2．两束相干光不一致的影响 103
3．杂光的影响 104
六、狭缝目镜的原理 105
1．光束倾斜的校正因子 108
七、干涉显微镜中的某些问题 108
2．关于干涉显微镜的视场、放大率和数值孔径 111
3．干涉显微镜的精度分析 113
八、干涉显微镜的构造原理 119
1．工作台 120
2．主体 121
3．微调部分 122
第六章 干涉显微镜的使用 126
一、操作方法 126
1．具体操作步序 128
2．不同反射率的参考反射镜的使用 130
3．狭缝目镜的使用 131
4．大工件测量时操作方法 132
二、测量和计算 132
1．用表征参数Rz测量表面光洁度 133
2．测量中几个问题讨论 135
三、照相方法测量表面光洁度 137
四、几种特殊测量方法 138
1．圆柱表面光洁度测量 138
2．小工件曲率半径测量 140
3．粒状和低反射率工件表面光洁度测量 140
4．印模法测量表面光洁度 142
5．等黑度法测量表面光洁度 142
6．半导体零件测量 144
7．小零件的微小角度测量 145
第七章 干涉显微镜的检修与维护 147
一、装校步序和方法 147
二、主要检定项目和调整、修理方法 151
1．条纹清晰度 151
2．条纹颜色 151
3．条纹弯曲度 152
5．工作台表面跳动 153
4．条纹调节机构 153
6．工作台轴向窜动 154
7．工作台表面和光轴的垂直度 154
8．摄影装置 155
9．仪器示值精度 155
三、常见故障和修理方法 156
1．微调座中参考光路的调焦机构失效 156
2．条纹宽度调不狭 158
3．干涉条纹漂移或跳跃 158
4．干涉条纹调宽度时，条纹产生倾斜 158
5．调节条纹宽度时，条纹中心位移 159
6．条纹呈阶梯形 159
7．视场里刀口象位置不对，或目镜头转动时刀口象位移 160
8．视场中干涉条纹调不宽 160
四、仪器的维护与保养 160