第一章 扫描隧道显微镜 姚骏恩 1
一、引言 1
目录 1
二、原理 2
三、仪器描述及几个关键技术问题 3
（一）样品和针尖间距的粗调和细调 5
（二）三维扫描和控制器件 5
（三）针尖的制备 6
（四）减震阻尼系统 6
（五）电子学控制、微机采样及图像处理系统 7
四、性能指标和验收 9
五、选购知识 10
六、仪器进展 13
七、应用 13
参考文献 15
二、电镜工作原理和电镜构造 16
（一）电镜工作原理 16
一、电子显微镜技术发展简史 16
第二章 透射电子显微镜 黄孝瑛 16
（二）电磁透镜 17
（三）电镜的构造 17
（四）电镜性能及其发展动向 24
三、电镜图像类型和分析电子显微术 25
四、分辨本领和放大倍数的测定 27
（一）分辨本领的测定 28
（一）选购电镜的一般考虑 29
五、电镜选购、安装与验收 29
（二）放大倍数的测定 29
（二）电镜安装的一般要求 30
（三）震动 30
（四）环境磁场 31
（五）电源 31
六、电子显微镜技术的应用 33
参考文献 33
第三章 扫描电子显微镜 谢信能、张存珪 34
一、引言 34
（二）图像反差、分辨率和景深 35
（一）图像的形成和放大倍数 35
二、基本原理 35
三、仪器结构及各部件的作用 36
（一）电子枪 37
（二）磁透镜及像差 38
（三）三级缩小系统 39
（四）扫描系统 40
（五）信号接收系统 40
（六）真空系统 41
四、性能测试 41
五、仪器种类、常用附件及今后发展 43
六、订货原则及安装要求 49
七、应用 49
参考文献 52
第四章 电子探针X射线微区分析仪 王文瑛 53
一、引言 53
二、电子探针微区分析原理 53
（一）X射线晶体分光光谱法（X射线波谱法） 54
（二）X射线能谱法 54
（一）电子光学系统 55
三、电子探针的基本结构 55
（二）X射线晶体分光、测量和记录系统 57
（三）图像信号检出、显示单元 58
（四）光学显微镜 58
（五）样品室和样品台微动装置 58
（六）电子计算机自动控制和数据处理系统 58
（七）真空系统 58
（二）验收指标及测试方法 59
（一）验收项目 59
四、性能测试与验收 59
（八）电源系统与冷却系统 59
五、选购仪器需知 64
六、电子探针的应用 67
参考文献 69
第五章 图像处理和图像分析 章一鸣 70
一、引言 70
二、图像的数字化 70
三、图像的采集 71
（一）点处理 72
四、图像处理 72
（二）空间邻域处理 74
（三）几何处理 75
（四）多幅图像处理 75
五、图像分析 76
六、更为先进的图像处理功能 78
（一）快速傅立叶变换（FFT） 78
（二）由一组二维截面图像重建三维立体图 78
（三）三维立体测量 78
（四）颗粒边界重建 79
（五）凝聚球体的分解 79
七、图像处理系统的分类 79
第六章 X射线波谱仪 姚文浩 82
一、引言 82
二、X射线波谱仪的原理 82
（一）结构原理 83
（二）波谱仪机构中的重要部件 84
（一）X射线波谱仪与扫描电镜的配接方式 92
三、X射线波谱仪仪器 92
（二）X射线波谱仪的主要性能指标 93
（三）X射线波谱仪的进展和用户须知 94
（四）安装验收 95
四、X射线波谱仪的使用 98
参考文献 98
第七章 X射线能谱仪 章一鸣 99
一、引言 99
二、特点与局限性 100
三、X射线能谱的形成 102
四、定性分析和定量分析 103
五、生产X射线能谱仪的主要公司及其型号 104
六、展望 106
（一）不使用液氮的探测器 106
（二）提高探测器的能量分辨率 106
（三）提高探测灵敏度 107
（四）发展成为综合性显微分析仪 107
七、对用户的几点建议 107
参考文献 109
八、X射线能谱仪的安装与验收 109
第八章 离子减薄仪 李树强 110
一、引言 110
二、离子轰击减薄技术的基本原理 110
三、仪器的基本结构 111
（一）样品室 112
（二）真空系统 112
四、仪器的技术条件 113
（三）供电及控制系统 113
五、离子减薄技术的应用 114
（一）实验条件的选择及其对样品质量的影响 114
（二）离子减薄技术的应用及样品的制备程序 116
六、结语 118
第九章 临界点干燥仪 卢宝廉 119
一、引言 119
二、工作原理 119
三、LG-1型临界点干燥仪主要技术参数 120
五、样品制备操作程序 121
四、种类、型号及产地 121
六、仪器使用方法（以LG-1型为例） 123
七、保养与故障维修（以LG-1型为例） 124
八仪器附件（以LG-1型为例） 125
九、应用范围 126
参考文献 127
第十章 超薄切片机及有关设备 乔宝义 128
一、引言 128
二、超薄切片机 129
三、冰冻切片系统 132
四、快速冷冻固定设备 134
五、冷冻替换器 136
六、样品包埋处理器 137
七、玻璃制刀机 137
八、钻石刀 138
九、结束语 138
第十一章 冷冻蚀刻技术及仪器 鲁崎唔 140
一、冷冻蚀刻技术的特点 140
二、冷冻蚀刻技术、制样步骤、原理及要求 140
三、商品冷冻蚀刻仪简介 143