1 绪论 1
1.1 引言 1
1.2 DLC薄膜的制备方法 3
1.2.1 物理气相沉积（PVD） 3
1.2.2 化学气相沉积（CVD） 10
1.3 DLC薄膜在生物材料领域的研究现状 12
1.4 本论著研究工作的意义和目的 16
1.4.1 研究意义 16
1.4.2 研究目的 17
2 DLC薄膜的制备和表征 19
2.1 前言 19
2.2 研究方案 19
2.3 DLC薄膜的制备 20
2.3.1 等离子浸没离子注入和沉积（PⅢ—D） 20
2.3.2 直流磁过滤阴极真空弧源沉积（DC—MFCVAD） 21
2.4 DLC薄膜的表征 22
2.4.1 X射线光电子能谱（XPS） 22
2.4.2 红外吸收光谱和拉曼光谱 26
2.4.3 薄膜硬度测定 27
2.4.4 薄膜结合强度 31
2.4.5 薄膜耐磨性 32
2.4.6 表面形貌观察 32
2.4.7 材料表面性能 33
2.4.8 电学性能表征 35
2.5 DLC薄膜抗凝血性能评价 38
2.5.1 血小板黏附试验 39
2.5.2 部分凝血活酶之鞣花酸活化法（EA—APTT） 39
2.5.3 纤维蛋白原变性程度检测 39
2.6 本章小结 40
3 PⅢ—D方法制备N、H掺杂DLC薄膜及其性能研究 41
3.1 前言 41
3.2 PⅢ—D控制系统改进 41
3.3 PⅢ—D方法合成DLC薄膜 44
3.3.1 样品准备 44
3.3.2 薄膜的制备 44
3.4 薄膜的成分和结构表征 46
3.4.1 Raman光谱 46
3.4.2 XPS分析 54
3.4.3 傅立叶红外光谱（FTIR）分析 60
3.4.4 价带XPS能谱研究 61
3.5 薄膜的机械性能研究 63
3.5.1 纳米硬度测试 63
3.5.2 耐磨性能表征 67
3.5.3 膜基结合强度 70
3.6 薄膜的电学性能表征 73
3.7 薄膜表面能研究 75
3.8 薄膜抗凝血性能评价 78
3.8.1 血小板黏附试验 78
3.8.2 EA—APTT检测试验和纤维蛋白原变性程度测定 84
3.9 本章小结 88
4 DC—MFCVAD法在不同基体偏压下制备DLC薄膜 89
4.1 前言 89
4.2 在不同偏压下制备DLC薄膜 90
4.3 薄膜的成分和结构表征 92
4.3.1 Raman光谱 92
4.3.2 XPS分析 94
4.4 机械性能 96
4.4.1 薄膜显微硬度测试 96
4.4.2 薄膜耐磨性 97
4.4.3 薄膜结合强度 98
4.5 薄膜电阻率 100
4.6 薄膜表面能研究 101
4.7 血小板黏附试验 102
4.8 本章小结 103
5 DC—MFCVAD合成N掺杂DLC薄膜 105
5.1 前言 105
5.2 N掺杂DLC薄膜的合成 105
5.3 成分和结构表征 106
5.3.1 Raman光谱 106
5.3.2 XPS的Cls和Nls谱分析 108
5.3.3 价带XPS能谱分析 112
5.4 机械性能 114
5.4.1 薄膜显微硬度 114
5.4.2 薄膜耐磨性能研究 115
5.5 薄膜的电学性能表征 118
5.6 薄膜表面能研究 120
5.7 薄膜抗凝血性能评价 122
5.7.1 血小板黏附试验 122
5.7.2 EA—APTT检测试验和纤维蛋白原变性程度的测定 128
5.8 本章小结 130
6 C:H、C:N:H和C:O系DLC薄膜的初步研究 131
6.1 前言 131
6.2 薄膜制备 132
6.3 Raman光谱分析 133
6.3.1 C:H系DLC薄膜的Raman光谱 133
6.3.2 C:N:H系DLC薄膜的Raman光谱 135
6.3.3 C:O系DLC薄膜的Raman光谱 136
6.3.4 Raman光谱结果的讨论 138
6.4 XPS研究 140
6.5 表面能和界面张力研究 144
6.6 抗凝血性能研究 147
6.6.1 血小板黏附试验 147
6.6.2 纤维蛋白原变性程度的测定 154
6.7 C:O薄膜耐磨性初步研究 156
6.8 本章小结 158
7 研究总结 160
8 国内外其他相关研究和展望 163
8.1 国内外其他相关研究 163
8.2 展望 169
参考文献 171