目录 1
第一章 真空技术物理基础引论 1
§1-1 真空的基本概念 1
§1-2 真空度量单位及区域划分 2
§1-3 各真空区域的物理特性及应用 3
§1-4 真空技术物理的范畴及其研究方法 6
第二章 气体在平衡状态下的物理特性 7
§2-1 理想气体定律 7
§2-2 气体分子的速率分布与速度分布 13
§2-3 玻尔兹曼分布律，重力场中微粒按高度分布 17
§2-4 气体分子之间的平均碰撞次数 18
§2-5 自由程及其分布几率 20
§2-6 碰撞频度 23
§2-7 分子从表面的反射——余弦定律 24
§2-8 蒸发和凝结 25
第三章 气体内的迁移现象 33
§3-1 迁移方程 33
§3-2 气体的热传导 34
§3-3 气体的内摩擦 36
§3-4 气体的扩散 38
第四章 真空中气体的迁移过程 45
§4-1 滑动现象——分子和器壁间的动量迁移 45
§4-2 温度骤增现象——分子和器壁间的能量交换 50
§4-3 真空中温度不同的两表面间的热量传递 53
§4-4 热流逸现象 59
§4-5 分子辐射力现象 61
第五章 真空中气体的流动 64
§5-1 流动状态及其判别 64
§5-2 流动过程的基本物理量及其相互关系的电气模拟 65
§5-3 粘滞流态的流量——泊谡叶公式 66
§5-4 分子流态的流量——克努曾公式 68
第六章 固－气界面现象 70
§6-1 概述 70
§6-2 吸附现象及固体表面 70
§6-3 吸附机理 72
§6-4 物理吸附与化学吸附 76
§6-5 吸附态 78
§6-6 吸附参量 79
§6-7 吸附动力学 83
§6-8 朗谬尔吸附等温线 87
§6-9 多分子层吸附等温线 89
第七章 气体在固体内部的迁移 91
§7-1 基本概念 91
§7-2 气体在固体中的溶解 92
§7-3 气体在固体中的扩散与渗透 94
§7-4 解吸－出气 98
第八章 荷能粒子与表面 99
§8-1 概述 99
§8-2 荷能电子与表面 99
§8-3 荷能原子、离子与表面 100
第九章 带电粒子在电磁场中的运动 106
§9-1 电磁场对带电粒子的加速作用 106
§9-2 电磁偏转 107
§9-3 磁聚焦－带电粒子在均匀磁场中的运动 112
§9-4 带电粒子在恒定电场中的运动 114
§9-5 带电粒子在正交均匀电场和磁场中的运动 119
§9-6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动 124
§9-7 带电粒子在交变电场中的运动 125
§9-8 带电粒子在交变磁场中的运动 127
§9-9 带电粒子在交变电磁场中的运动 130
第十章 电子发射 134
§10-1 引言 134
§10-2 热电子发射 135
§10-3 光电子发射 141
§10-4 场致发射 145
§10-5 二次电子发射 148
第十一章 气体放电的基础知识 154
§11-1 气体原子的激发和电离 154
§11-2 弹性碰撞 155
§11-3 非弹性碰撞 157
§11-4 带电粒子在气体中的漂移运动 162
§11-5 带电粒子在气体中的扩散 166
第十二章 汤生放电 168
§12-1 气体放电的基本特点 168
§12-2 气体放电的实验，被激导电和自激导电 170
§12-3 自激导电的规律，电子繁流理论和自持放电 172
§12-4 破裂电压和巴邢定律，着火的迟滞时间 175
§12-5 破裂（着火）后的放电形式 179
§13-1 辉光放电 181
第十三章 辉光放电、弧光放电和其它类型放电 181
§13-2 弧光放电 189
§13-3 其它类型放电 193
第十四章 空心阴极放电 199
§14-1 空心阴极效应 199
§14-2 空心阴极的放电现象和特性 201
§14-3 空心阴极放电向电弧放电的转化 204
§14-4 蒸发机理 205
§14-5 空心阴极放电的阴极温度 209
§14-6 载气的选择 211
第十五章 真空中电击穿 214
§15-1 概述 214
§15-2 金属阴极的侵蚀 215
§15-3 击穿过程及其机理 218
第十六章 电子光学基础 225
§16-1 电子光学和几何光学的相似性 225
§16-2 电子在轴对称电场中的运动 228
§16-3 电透镜 232
§16-4 电子在轴对称磁场中的运动 239
§16-5 磁透镜 243
第十七章 空心阴极放电电子枪的物理基础 247
§17-1 等离子体的基本性质 247
§17-2 单粒子运动轨道 252
§17-3 空心阴极放电电子枪的物理参量 257
§17-4 HCD枪平行场偏转极的数理分析 264
§17-5 等离子源的束流偏转 269