1.1 机械电子学 1
第1章 光微机械电子学概述 1
1.2 革新的方向 5
1.3 光微机械电子学的地位 7
1.4 微动力学和光学技术 8
第2章 光微机械电子学的技术状况 13
2.1 光技术创造的精密机器与信息机器 13
2.2 光微机械电子学技术的本质 15
2.2.1 光束强度控制 15
2.2.2 光束定位控制 16
2.3.1 光压的利用 17
2.3 光束强度控制的实例 17
2.3.2 光热变换的利用 21
2.4 光束定位控制 27
2.4.1 连续定位控制 27
2.4.2 跟踪定位控制的分类 28
2.4.3 主动连续跟踪控制 29
2.4.4 被动连续跟踪控制 30
2.4.5 定位控制系统的动态特性 31
2.4.6 离散跟踪控制 34
3.1.1 光源简介 39
第3章 光微机械电子学中的间断定位 39
3.1 重复频率控制原理与控制机构 39
3.1.2 重复频率可变原理 41
3.1.3 谐振腔长度变动机构 42
3.2 重复频率控制特性 48
3.3 脉冲周期的稳定及应用 50
3.3.1 光通信中脉冲光源的简介 50
3.3.2 重复频率的双重控制 50
4.1 波长扫描原理与控制机构概要 57
4.1.1 装置概要 57
第4章 光微机械电子学中的速度控制 57
4.1.2 波长选择原理 58
4.1.3 同步旋转机构 61
4.2 波长同步扫描与精密光学测量仪器 62
4.2.1 波长扫描谱分析仪 62
4.2.2 高精度激光波长检测 63
4.2.3 波长扫描光源 65
第5章 光微机械电子学中的跟踪定位 71
5.1 传统型的光盘跟踪定位 71
5.1.1 光盘的记录重放原理与定位概要 71
5.1.2 聚焦伺服中的位置检测 76
5.1.3 连续跟踪伺服中的位置检测 77
5.1.4 采样伺服中的位置检测 78
5.2 浮动头型光盘装置的跟踪定位 81
5.2.1 装置的概要 81
5.2.2 记录坑的检测 83
5.2.3 气浮光头的被动定位 85
5.2.4 实际装置技术 87
5.3 复合谐振腔型激光位移传感器 88
5.3.1 位置检测原理与跟踪定位概述 88
5.3.2 应用 93
第6章 光微机械电子学的基础光学 99
6.1 光学基础 99
6.1.1 麦克斯韦方程式 100
6.1.2 波动方程式的行波解 103
6.1.3 偏振光 106
6.1.4 干涉 108
6.1.5 光波面的控制 109
6.1.6 光波的定域 115
6.2 光学谐振腔及其应用 116
6.2.1 光学谐振腔的原理及概要 116
6.2.2 谐振腔的波长选择作用 118
6.2.3 半导体激光光学 121
第7章 光微机械电子学的基础力学 135
7.1 微小物体动力学 135
7.2 梁的运动方程式 137
7.2.1 梁的力学模型 137
7.2.2 根据力平衡的运动方程式的推导 139
7.2.3 根据能量原理的运动方程式的推导 140
7.2.4 多自由度系统方式的运动方程式的导出 143
7.2.5 自由振动解与固有振动模式 146
7.3.1 流体运动的基础公式 149
7.3 微领域中的流体运动 149
7.3.2 基于串珠模型的近似解析 152
7.4 考虑空气阻力的梁的运动 155
7.4.1 输入为谐波的振动 155
7.4.2 微小振动梁的衰减比 157
7.4.3 阶跃输入的过渡响应 162
7.5 摩擦引起的爬行 164
第8章 向光纳米机械电子学的发展 173
8.1 纳米技术的发展潮流 173
8.2 新一代光纳米存储技术 176
索引 183