第一章 新型传感器综述 1
第一节 新型传感效应 1
第二节 新型敏感材料 9
第三节 新加工工艺 18
第二章 新型固态光电传感器 32
第一节 普通光敏器件阵列 32
第二节 自扫描光电二极管阵列(SSPD) 36
第三节 光电位置传感器(PSD) 43
第四节 输液监测中的光电传感器 47
第三章 电荷耦合器件(CCD) 52
第一节 CCD的物理基础 52
第二节 CCD的工作原理 56
第三节 CCD器件 63
第四节 CCD在测量中的应用 69
第四章 光纤传感器 77
第一节 光纤传感原理 77
第二节 常见光纤传感器 88
第三节 光纤传感器的应用 97
第五章 集成传感器 104
第一节 集成压敏传感器 104
第二节 集成温敏传感器 111
第三节 集成磁敏传感器 116
第四节 集成传感器应用实例 122
第六章 化学传感器 131
第一节 离子敏传感器 131
第二节 气敏传感器 135
第三节 湿敏传感器 142
第四节 工业废水排放的自动监测 148
第一节 机器人传感器的功能与分类 154
第七章 机器人传感器 154
第二节 机器人视觉传感器 156
第三节 机器人触觉传感器 167
第四节 机器人接近觉传感器 174
第八章 薄膜传感器 178
第一节 薄膜热传感器 178
第二节 薄膜应变片 183
第三节 薄膜气敏传感器 187
第四节 薄膜传感器的应用 191
第九章 传感器的信号处理 197
第一节 信号处理概述 197
第二节 传感器的信号引出 200
第三节 信号补偿电路 208
第四节 精密放大电路 214
第一节 光学透镜心偏差的测量 224
第十章 新型传感器在几何量测量中的应用 224
第二节 超光滑表面微观轮廓的测量 232
第三节 光学表面疵病度的测量 236
附录 241
附录A 光度学的基本物理单位 241
附录B 电磁波谱与可见光 242
附录C 远心光路 243
附录D 常见的几种光纤干涉仪 244
附录E 声光调制器 245
附录F 波片 246
附录G 光源的驱动 246
附录H 国外常见机型中的有源矩阵液晶显示器 249
附录I 机器人视觉计算理论简介 250
附录J 军用加固型液晶显示器相关资料 252
参考文献 256