目录 1
刻划与光刻技术述评 浙江大学 曹向群 上海交通大学 黄维实 1
光电圆刻机的发展概况及基本原理 中国科学技术大学 邹自强 6
高精度光电圆刻线机 重庆大学 黄尚廉 钟先信 杨冠玲 梁铨襄 栾兴林 16
计量光栅保护层研究 上海机械学院 陈林 北京303研究所 宋伯伦 19
圆光栅均匀性误差研究 上海机械学院 陈林 方银东 24
精密主轴的双周晃动现象 中国科学技术大学 邹自强 28
提高圆光栅刻划精度的研究 上海机械学院 戴兴庆 陈林 35
圆分度微机控制细分法 上海机械学院 胡学良 陈林 方银东 39
微机在制作圆光栅和编码盘中的应用 南京光学仪器厂 管俊晨 43
多圈法刻划圆光栅 上海机械学院 陈林 戴兴庆 48
圆刻机精度检定中的几个问题 浙江大学 曹向群 金彤 55
环形莫尔条纹全接收系统设计问题 重庆大学光电精密机械研究所 杨冠玲 62
变密度型正弦波光栅的研制 南京光学仪器厂 刘怀道 钟旭 67
金属基底刻划红外光栅 上海光学仪器研究所 王国华 74
计量光栅的绝对零位 北京303研究所 张玮 张微元 80
三色彩色光栅的制造 上海交通大学 黄维实 周良 浙江大学 曹向群 87
计量光栅质量指标 新天光学仪器公司 陈继达 90
激光定位光栅检拍机 上海市计量技术研究所 杨守忠 陈福珍 96
上海科学技术大学精密机械系 吴永方 王志豪 98
1m计量光栅刻划机用的两个干涉仪的设计 98
激光定位、静态刻划网络机和网络板的研制 103
江南光学仪器厂 胡锡华 高志 金文惇 钱方正 103
用冠醚提高超微粒干版的分辨率 南京光学仪器厂 钟旭 刘怀道 107
光学精密照相复制D-PVA感光胶的研制及其应用 112
新天光学仪器公司 郑大千 周建军 112
用光刻胶复制高精度黑铬度盘工艺 中国科学院南京天文仪器厂 陆翡翠 117
光学干版和制版软片的研究 西北光学仪器厂 聂华生 123
远紫外光刻的实验研究 中国科学院光电所 王兴无 杨云歧 邵慧玉 129
横向微细加工一瞥——亚微米级和纳米级加工综述 常州半导体厂 黄德源 134
应用相干光技术测量光掩膜线宽 复旦大学 王家楫 139
计量光栅均匀性误差的检测 长春光机所 李明媛 杨进堂 144
自动度盘检查仪的原理和应用 上海光学仪器厂 陈宗锡 陆忠 李亚君 高宜林 150
度盘格线误差检定 上海交通大学 黄维实 浙江大学 曹向群 156
高精度度盘检测装置 苏州第一光学仪器厂 沈家麟 戴泳芳 刘杏定 159
计量光栅光学特性的测试研究 浙江大学 金彤 163
检测圆光栅的光电定角比相法 长春光机所十六室检测组 167
圆光栅直径误差数字化自动检测 浙江大学 沈颂 曹向群 陈远绳 176
圆光栅的检测及数据处理 中科院光电研究所 吕文松 魏爱敏 赵安太 182
六十进制光电圆分度检验仪的使用效果 长春光机所 朱应时 孙承浦 李桂霞 192