第1章 集成光路概述 1
1.1定义 1
1.2发展 2
1.3特点 4
1.4制作集成光路所需的技术 6
1.5本书的结构 7
第2章 光波导理论 8
2.1光波导概述 8
2.2折射率突变型二维光波导 10
2.3折射率渐变型二维光波导 23
2.4三维光波导 29
2.5三维光波导的实例 38
2.6波导光的散射与传输损耗 47
第3章 光波导的模耦合理论 51
3.1模耦合理论的基本概念 51
3.2模耦合的一般理论 60
第4章 光波导结构中的光栅理论 66
4.1光栅的分类 66
4.2光栅耦合 68
4.3共线耦合 70
4.4共面耦合 78
4.5导模-辐射模耦合 87
第5章 光波导的调制 101
5.1调制方法的分类 101
5.2利用电光效应的调制 103
5.3利用声光效应的调制 117
5.4利用磁光效应的调制 126
5.5利用热光效应的调制 130
5.6利用非线性光学效应的调制 134
附录 典型的光学常数 143
第6章 光波导的材料与制作技术 146
6.1典型材料与制作技术 146
6.2高分子薄膜波导 150
6.3玻璃波导 152
6.4非晶质硫硒碲化合物薄膜波导 160
6.5LiNbO3波导 163
6.6其他波导 172
6.7薄膜淀积型波导用的SiO2/Si衬底 176
附录 各种波导的特性与光学材料的折射率 178
7.1精细加工工艺 182
第7章 集成光路的精细加工技术 182
7.2图形形成技术 184
7.3加工技术 189
7.4三维光波导的制作方法 195
7.5光栅的制作方法 214
附录1 用照相缩小法制作光掩模 230
附录2 用激光束直接绘图法制作光波导图形 232
第8章 光波导技术与波导的评价 235
8.1概述 235
8.2波导光的激励方法 236
8.3传输常数的测量方法与波导参数的评价 246
8.4传输损耗与散射的测量方法 250
第9章 无源光波导器件 256
9.1概述 256
9.2光路变换器 257
9.3分配器 263
9.4偏振器与模分离器 268
9.5波长分波器与合波器 271
9.6透镜 278
10.1概述 292
第10章 有源光波导器件 292
10.2电光调制器 293
10.3声光控制器件 316
10.4磁光调制器 332
10.5热光调制器 338
10.6二次非线性光学效应器件 343
10.7三次非线性光学效应器件（光双稳态器件） 350
10.8波导激光与波导型放大器件 357
第11章 集成光路实例 362
11.1概述 362
11.2宽带光调制器 363
11.3光学开关、光学开关阵列与多重光波长 364
11.4频谱分析器 372
11.5卷积器与相关器 376
11.6高密度信息读取器（光盘拾波器） 380
11.7连接器 382
11.8集成光路传感器 384
第12章 集成光路今后的课题 391
12.1混合集成光路存在的课题 391
12.2光电子集成回路 394
12.3集成光路的发展方向 394
参考文献 396