目次 1
一、洁净室和洁净工作台的环境控制标准 1
——美国联邦标准209A 17
二、洁净室和洁净工作台的环境控制标准 17
——美国联邦标准209B 37
三、洁净室与洁净工作台设计和运行的技术标准与指南 37
——美国空军技术条令…T.O.00-25-203(第二次修订) 89
四、美国国家航空及宇宙航行局NAS A标准NHB5040-1 89
——宇宙飞行器微生物学的实验标准程序 108
五、美国国家航空及宇宙航行局NASA标准NHB5340-2 108
第一部分:洁净室技术的原理、定义和洁净等级的划分 127
——关于洁净室和洁净工作台微生物的控制标准 129
六、西德标准VDI-2083 129
第二部分:洁净室的建造、运行和维护管理 134
七、空气和其它气体悬浮物(粉尘、油雾、细菌及病毒) 144
过滤器暂行测定规程 157
八、空气净化装置性能试验方法标准(草案) 157
九、洁净室中悬浮微粒子的测定方法(草案) 203
——日本工业标准JIS 210
十、光散射式粒子计数器技术标准(草案) 210
——日本工业标准JIS 220
十一、洁净室的标准 220
十二、空气净化器 236
十三、层流空气净化装置的暂行标准 257
十四、美国空军修正的技术条令T.O.00-25-203 279
十五、美国空军手册AF M88—4 298
——美国空军洁净设施的设计施工标准 317
十六、COMP—AIRE公司100级洁净室标准试验程序 317
十七、洁净室的动向与展望 330
十八、工业用洁净室现状 335