目录 1
一、概述 1
（一）半导体硅的性能及用途 1
（二）半导体硅的制备方法及比较 3
二、硅烷的制备 6
（一）硅烷的性质和用途 6
（二）硅烷的制备方法 12
（三）用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺 27
（一）硅烷的提纯方法 46
三、硅烷的提纯 46
（二）采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺 60
四、硅烷的热分解 71
（一）硅烷热分解的反应及条件 71
（二）用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺 77
（三）直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺 85
五、硅烷法生产中的安全防护 92
（一）中毒和烧伤 93
（二）防爆 98
（三）防火、防触电 102
（四）受压容器的安全技术 104