第七节 谐振膜式压力传感器 825
第八节 石英谐振梁式压力传感器 826
第九节 谐振式科里奥利直接质量流量传感器 830
第十三章 微机械传感器 840
第一节 概述 840
第二节 硅电容式集成压力传感器 844
第三节 硅电容式微机械加速度传感器 846
第四节 硅电容式表面微机械陀螺 848
第五节 微机械磁通门传感器 850
第六节 微机械二氧化碳气体传感器 851
第七节 微机械科氏质量流量传感器 852
第八节 毫米波图像传感器 854
第九节 基于皮拉尼真空计的微小型压力传感器 855
第十节 硅谐振式压力微传感器 857
第十四章SAW传感器 865
第一节 概述 865
第二节 声表面波叉指换能器 866
第三节 声表面波谐振器 872
第四节 典型的声表面波传感器 875
第十五章 应变式传感器 902
第一节 应变式变换原理 902
第二节 金属应变片 904
第三节 应变片的动态响应特性 915
第四节 应变片的温度误差及其补偿 919
第五节 电桥原理 924
第六节 典型的应变式传感器 930
第十六章、压电式传感器 955
第一节 石英晶体 955
第二节 压电陶瓷 964
第三节 聚偏二氟乙烯 967
第四节 压电换能元件的等效电路 967
第五节 压电换能元件的信号转换电路 968
第六节 压电式传感器的抗干扰问题 971
第七节 典型的压电式传感器 977
第十七章 图像传感器 990
第一节CCD图像传感器 990
第二节CMOS图像传感器 996
第三节CCD和CMOS图像传感器应用实例 1000
第四节 实训 1004
第十八章 智能传感器和多功能传感器 1006
第一节 智能传感器概述 1006
第二节 智能传感器的结构框图 1010
第三节 智能传感器件常用软件及设计 1013
第四节 计算型智能传感器 1016
第五节 特殊材料型智能传感器 1020
第六节 几何结构型智能传感器 1021
第七节 智能传感器实例 1021
第八节 人工神经网络智能气体传感器 1028
第九节 多功能传感器 1033
第十九章 新型传感器 1038
第一节 仿生传感器 1038
第二节 光纤传感器 1048
第三节 微型传感器 1054
第四节 集成传感器 1058
第五节 新型传感器研发的重点领域 1068
第二十章 模糊逻辑与模糊传感器 1071
第一节 模糊传感器概述 1071
第二节 模糊数学基础 1073
第三节 符号化表示与多级映射 1087
第四节 模糊传感器的基本结构 1095
第五节 模糊推理及模糊传感器的应用 1100
第二十一章 传感敏感元件和传感器产品 1109
第一节 半导体材料在传感器技术领域的应用 1109
第二节 高分子材料在传感器技术领域的应用 1117
第三节 纳米材料与传感器技术 1125
第四节 智能材料 1135
第四篇 传感技术应用与相关技术标准第一章 传感器的检测技术 1155
第一节 检测技术的基本知识 1155
第二节 自动检测技术概述 1171
第三节 测量误差与数据处理 1175
第二章 传感器的可靠性 1190
第一节 概论 1190
第二节 可靠性特征量与概率分布 1192
第三节 寿命分布 1212
第四节 敏感元件与传感器可靠性寿命试验的设计 1217